反応性イオンビームエッチングを用いたGaAsとAlGaAsのドライエッチングの研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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反応性イオンビームエッチングを用いたGaAsとAlGaAsのドライエッチングの研究
- 著者名
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菅田, 純雄
- 著者別名
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スガタ, スミオ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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乙第5002号
- 学位授与年月日
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1990-03-14
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (6コマ目)
反応性イオンビームエッチングを用いたGaAsとAlGaAsのドライエッチングの研究
菅田, 純雄
スガタ, スミオ
大阪大学
工学博士
乙第5002号
1990-03-14
博士論文