高分解能オージェ深さ分析技術の開発と拡散過程研究への応用

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著者

    • 祖父江, 進 ソブエ, ススム

書誌事項

タイトル

高分解能オージェ深さ分析技術の開発と拡散過程研究への応用

著者名

祖父江, 進

著者別名

ソブエ, ススム

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第32号

学位授与年月日

1990-03-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000065467
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000065641
  • NDL書誌ID
    • 000000229781
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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