電子ビーム露光による大規模集積回路の製造における近接効果補正に関する研究

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Author

    • 町田, 泰秀 マチダ, ヤスヒデ

Bibliographic Information

Title

電子ビーム露光による大規模集積回路の製造における近接効果補正に関する研究

Author

町田, 泰秀

Author(Another name)

マチダ, ヤスヒデ

University

九州大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第4675号

Degree year

1990-02-28

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000065653
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000065827
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000229967
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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