新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究

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著者

    • 熊谷, 寛 クマガイ, ヒロシ

書誌事項

タイトル

新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究

著者名

熊谷, 寛

著者別名

クマガイ, ヒロシ

学位授与大学

慶應義塾大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第1014号

学位授与年月日

1990-03-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000066111
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000066285
  • NDL書誌ID
    • 000000230425
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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