X線を用いた微細加工に関する研究 A study of microfabrication usiug X-rays

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著者

    • 吉岡, 信行 ヨシオカ, ノブユキ

書誌事項

タイトル

X線を用いた微細加工に関する研究

タイトル別名

A study of microfabrication usiug X-rays

著者名

吉岡, 信行

著者別名

ヨシオカ, ノブユキ

学位授与大学

日本大学

取得学位

理学博士

学位授与番号

乙第3945号

学位授与年月日

1990-03-12

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000066925
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000067099
  • NDL書誌ID
    • 000000231239
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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