X線を用いた微細加工に関する研究 A study of microfabrication usiug X-rays
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著者
書誌事項
- タイトル
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X線を用いた微細加工に関する研究
- タイトル別名
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A study of microfabrication usiug X-rays
- 著者名
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吉岡, 信行
- 著者別名
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ヨシオカ, ノブユキ
- 学位授与大学
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日本大学
- 取得学位
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理学博士
- 学位授与番号
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乙第3945号
- 学位授与年月日
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1990-03-12
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (15コマ目)