プラズマ化学気相成長プロセスによる非晶質膜形成とその応用に関する研究

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著者

    • 北川, 雅俊 キタガワ, マサトシ

書誌事項

タイトル

プラズマ化学気相成長プロセスによる非晶質膜形成とその応用に関する研究

著者名

北川, 雅俊

著者別名

キタガワ, マサトシ

学位授与大学

金沢大学

取得学位

学術博士

学位授与番号

乙第1070号

学位授与年月日

1989-09-30

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000068312
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000068495
  • NDL書誌ID
    • 000000232626
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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