アモルファスシリコン膜の物性とその応用

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著者

    • 羽山, 昌宏 ハヤマ, マサヒロ

書誌事項

タイトル

アモルファスシリコン膜の物性とその応用

著者名

羽山, 昌宏

著者別名

ハヤマ, マサヒロ

学位授与大学

神戸大学

取得学位

理学博士

学位授与番号

乙第1404号

学位授与年月日

1990-03-16

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000068756
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000068940
  • NDL書誌ID
    • 000000233070
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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