電子サイクロトロン共鳴プラズマを用いた薄膜作製とその応用に関する研究

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Author

    • 真鍋, 由雄 マナベ, ヨシオ

Bibliographic Information

Title

電子サイクロトロン共鳴プラズマを用いた薄膜作製とその応用に関する研究

Author

真鍋, 由雄

Author(Another name)

マナベ, ヨシオ

University

九州大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第4732号

Degree year

1990-04-25

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (5コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000069081
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000069266
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000233395
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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