シリコン単結晶とその熱酸化膜の欠陥制御に関する研究

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著者

    • 青島, 孝明 アオシマ, タカアキ

書誌事項

タイトル

シリコン単結晶とその熱酸化膜の欠陥制御に関する研究

著者名

青島, 孝明

著者別名

アオシマ, タカアキ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第5284号

学位授与年月日

1990-04-11

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000069364
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000069549
  • NDL書誌ID
    • 000000233678
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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