超高純度フッ化水素の精製とその超LSI技術への応用に関する研究

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Author

    • 三木, 正博 ミキ, ノブヒロ

Bibliographic Information

Title

超高純度フッ化水素の精製とその超LSI技術への応用に関する研究

Author

三木, 正博

Author(Another name)

ミキ, ノブヒロ

University

東北大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第5291号

Degree year

1990-05-09

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
9access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000069371
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000069556
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000233685
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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