スパッタ法によるペロブスカイト型酸化物薄膜の作製とその応用に関する研究

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著者

    • 足立, 秀明 アダチ, ヒデアキ

書誌事項

タイトル

スパッタ法によるペロブスカイト型酸化物薄膜の作製とその応用に関する研究

著者名

足立, 秀明

著者別名

アダチ, ヒデアキ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第5294号

学位授与年月日

1990-05-09

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000069374
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000069559
  • NDL書誌ID
    • 000000233688
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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