多孔質シリコン層の微細構造と格子歪の研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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多孔質シリコン層の微細構造と格子歪の研究
- 著者名
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杉山, 弘
- 著者別名
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スギヤマ, ヒロシ
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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工学博士
- 学位授与番号
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甲第2137号
- 学位授与年月日
-
1990-03-26
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 (6コマ目)
多孔質シリコン層の微細構造と格子歪の研究
杉山, 弘
スギヤマ, ヒロシ
東京工業大学
工学博士
甲第2137号
1990-03-26
博士論文