A study on reactive ion beam etching for surface emitting lasers 面発光レーザ製作のための反応性イオンビームエッチングに関する研究

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著者

    • 田所, 貴志 タドコロ, タカシ

書誌事項

タイトル

A study on reactive ion beam etching for surface emitting lasers

タイトル別名

面発光レーザ製作のための反応性イオンビームエッチングに関する研究

著者名

田所, 貴志

著者別名

タドコロ, タカシ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2177号

学位授与年月日

1990-03-26

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000069534
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000069720
  • NDL書誌ID
    • 000000233848
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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