シリコン表面の薄膜エッヂ誘起応力の研究

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著者

    • 磯前, 誠一 イソマエ, セイイチ

書誌事項

タイトル

シリコン表面の薄膜エッヂ誘起応力の研究

著者名

磯前, 誠一

著者別名

イソマエ, セイイチ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

理学博士

学位授与番号

乙第2000号

学位授与年月日

1990-01-31

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000069647
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000069833
  • NDL書誌ID
    • 000000233961
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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