光プロセス技術を用いた電子材料薄膜の作製及びその評価

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著者

    • 大坪, 茂 オオツボ, シゲル

書誌事項

タイトル

光プロセス技術を用いた電子材料薄膜の作製及びその評価

著者名

大坪, 茂

著者別名

オオツボ, シゲル

学位授与大学

金沢大学

取得学位

学術博士

学位授与番号

甲第970号

学位授与年月日

1990-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000070164
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000070350
  • NDL書誌ID
    • 000000234478
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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