光プロセス技術を用いた電子材料薄膜の作製及びその評価

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Author

    • 大坪, 茂 オオツボ, シゲル

Bibliographic Information

Title

光プロセス技術を用いた電子材料薄膜の作製及びその評価

Author

大坪, 茂

Author(Another name)

オオツボ, シゲル

University

金沢大学

Types of degree

学術博士

Grant ID

甲第970号

Degree year

1990-03-25

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (4コマ目)
0access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000070164
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000070350
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000234478
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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