光CVD法による炭素膜の低温合成

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著者

    • 安田, 哲二 ヤスダ, テツジ

書誌事項

タイトル

光CVD法による炭素膜の低温合成

著者名

安田, 哲二

著者別名

ヤスダ, テツジ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第8375号

学位授与年月日

1990-02-08

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000070886
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000071075
  • NDL書誌ID
    • 000000235200
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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