LPE法による高品質SOI層の形成技術に関する研究

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Author

    • 鈴木, 喜之 スズキ, ヨシユキ

Bibliographic Information

Title

LPE法による高品質SOI層の形成技術に関する研究

Author

鈴木, 喜之

Author(Another name)

スズキ, ヨシユキ

University

東京大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第8565号

Degree year

1990-03-29

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 (12コマ目)
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Keywords

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000071076
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000071265
  • DOI(JaLC)
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000000235390
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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