高エネルギー(1.0MeV-2.5MeV)重イオン(As[75],Kr[84],Xe[132]等)照射による非晶質Siの低温(≲300℃)単結晶化の研究
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Bibliographic Information
- Title
-
高エネルギー(1.0MeV-2.5MeV)重イオン(As[75],Kr[84],Xe[132]等)照射による非晶質Siの低温(≲300℃)単結晶化の研究
- Author
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中田, 穣治
- Author(Another name)
-
ナカタ, ジョウジ
- University
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東京大学
- Types of degree
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理学博士
- Grant ID
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乙第9590号
- Degree year
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1990-02-22
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 (3コマ目)