The study of crystallization of AlN induced by ion implantation into AlNx thin films イオン注入による窒化アルミニウム薄膜中の結晶成長の研究

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著者

    • 小林, 健三 コバヤシ, ケンゾウ

書誌事項

タイトル

The study of crystallization of AlN induced by ion implantation into AlNx thin films

タイトル別名

イオン注入による窒化アルミニウム薄膜中の結晶成長の研究

著者名

小林, 健三

著者別名

コバヤシ, ケンゾウ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4224号

学位授与年月日

1990-12-20

注記・抄録

博士論文

09451

博士(工学)

1990-12-20

大阪大学

14401甲第04224号

目次

  1. Contents / p1 (0003.jp2)
  2. ABSTRACT / p4 (0005.jp2)
  3. CHAPTER 1 INTRODUCTION / p1 (0006.jp2)
  4. CHAPTER 2 COMPOSITION AND STRUCTURE OF N-IMPLANTED AlN₀.₈ THIN FILMS / p5 (0008.jp2)
  5. 2.1 Introduction / p5 (0008.jp2)
  6. 2.2 Experimental procedure / p7 (0009.jp2)
  7. 2.3 Results and discussion / p18 (0015.jp2)
  8. 2.4 Conclusion / p65 (0038.jp2)
  9. CHAPTER 3 EFFECTS OF INCIDENT ANGLES OF N-IMPLANTATION ON COMPOSITION AND STRUCTURE OF AlN x THIN FILMS / p66 (0039.jp2)
  10. 3.1 Introduction / p66 (0039.jp2)
  11. 3.2 Experimental procedure / p67 (0039.jp2)
  12. 3.3 Results and discussion / p69 (0040.jp2)
  13. 3.4 Conclusion / p78 (0045.jp2)
  14. CHAPTER 4 RELATIONSHIP BETWEEN COMPOSITION AND STRUCTURE OF N-IMPLANTED AlNx THIN FILMS / p79 (0045.jp2)
  15. 4.1 Introduction / p79 (0045.jp2)
  16. 4.2 Experimental procedure / p80 (0046.jp2)
  17. 4.3 Results / p83 (0047.jp2)
  18. 4.4 Discussion / p92 (0052.jp2)
  19. 4.5 Conclusion / p96 (0054.jp2)
  20. CHAPTER 5 OPTICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF ION IMPLANTED AlNx THIN FILMS / p97 (0054.jp2)
  21. 5.1 Introduction / p97 (0054.jp2)
  22. 5.2 Experimental procedure / p98 (0055.jp2)
  23. 5.3 Results and discussion / p100 (0056.jp2)
  24. 5.4 Conclusion / p110 (0061.jp2)
  25. CHAPTER 6 EFFECTS OF INERT GAS IMPLANTATION ON COMPOSITION AND STRUCTURE OF AlNx THIN FILMS / p111 (0061.jp2)
  26. 6.1 Introduction / p111 (0061.jp2)
  27. 6.2 Experimental procedure / p112 (0062.jp2)
  28. 6.3 Results / p114 (0063.jp2)
  29. 6.4 Discussion / p120 (0066.jp2)
  30. 6.5 Conclusion / p135 (0073.jp2)
  31. CHAPTER 7 SUMMARY / p136 (0074.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000072580
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000072775
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000236894
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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