電子ビーム描画作製による反射形マイクロフレネルレンズとその応用に関する研究

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著者

    • 塩野, 照弘 シオノ, テルヒロ

書誌事項

タイトル

電子ビーム描画作製による反射形マイクロフレネルレンズとその応用に関する研究

著者名

塩野, 照弘

著者別名

シオノ, テルヒロ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第5165号

学位授与年月日

1990-10-29

注記・抄録

博士論文

09382

博士(工学)

1990-10-29

大阪大学

14401乙第05165号

目次

  1. 目次 / (0005.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  3. 1.1 微小光学技術とマイクロレンズ / p1 (0007.jp2)
  4. 1.2 マイクロフレネルレンズと電子ビーム描画技術 / p2 (0008.jp2)
  5. 1.3 従来の透過形マイクロフレネルレンズの問題点 / p4 (0009.jp2)
  6. 1.4 反射形マイクロフレネルレンズの提案と応用 / p4 (0009.jp2)
  7. 1.5 本論文の構成 / p7 (0010.jp2)
  8. 第2章 反射形マイクロフレネルレンズに関する基礎理論 / p10 (0012.jp2)
  9. 2.1 緒言 / p10 (0012.jp2)
  10. 2.2 レンズの構造・設計と光学特性の理論 / p10 (0012.jp2)
  11. 2.3 回折効率の理論解析 / p15 (0014.jp2)
  12. 2.4 結言 / p28 (0021.jp2)
  13. 第3章 電子ビーム描画装置の高性能化 / p30 (0022.jp2)
  14. 3.1 緒言 / p30 (0022.jp2)
  15. 3.2 描画装置の構成 / p30 (0022.jp2)
  16. 3.3 描画性能 / p33 (0023.jp2)
  17. 3.4 結言 / p35 (0024.jp2)
  18. 第4章 マイクロフレネルレンズの高精度ブレーズ化と光学特性 / p37 (0025.jp2)
  19. 4.1 緒言 / p37 (0025.jp2)
  20. 4.2 ブレーズ化の原理と高精度化 / p37 (0025.jp2)
  21. 4.3 反射形マイクロフレネルレンズの作製と光学特性 / p40 (0027.jp2)
  22. 4.4 ドライ現象によるブレーズ化の再現性向上 / p48 (0031.jp2)
  23. 4.5 結言 / p55 (0034.jp2)
  24. 第5章 マイクロフレネルレンズの楕円化による高機能化 / p57 (0035.jp2)
  25. 5.1 緒言 / p57 (0035.jp2)
  26. 5.2 楕円化レンズの構造と設計 / p57 (0035.jp2)
  27. 5.3 作製 / p59 (0036.jp2)
  28. 5.4 集光特性の楕円離心率依存性 / p60 (0037.jp2)
  29. 5.5. 集光特性の観測面位置依存性 / p62 (0038.jp2)
  30. 5.6 結言 / p69 (0041.jp2)
  31. 第6章 マイクロフレネルレンズの光利用面積の拡大化 / p71 (0042.jp2)
  32. 6.1 緒言 / p71 (0042.jp2)
  33. 6.2 構造と理論評価 / p71 (0042.jp2)
  34. 6.3 作製 / p73 (0043.jp2)
  35. 6.4 集光特性の測定結果 / p76 (0045.jp2)
  36. 6.5 結言 / p80 (0047.jp2)
  37. 第7章 集積化光学ヘッドへの応用(I) / p82 (0048.jp2)
  38. 7.1 緒言 / p82 (0048.jp2)
  39. 7.2 集積化光学へッド / p82 (0048.jp2)
  40. 7.3 薄膜光検出器の作製と感度測定 / p87 (0050.jp2)
  41. 7.4 特性測定 / p89 (0051.jp2)
  42. 7.5 結言 / p92 (0053.jp2)
  43. 第8章 集積化光学ヘッドへの応用(II) / p94 (0054.jp2)
  44. 8.1 緒言 / p94 (0054.jp2)
  45. 8.2 波長変動無依存形光学ヘッド / p94 (0054.jp2)
  46. 8.3 特性測定 / p100 (0057.jp2)
  47. 8.4 結言 / p105 (0059.jp2)
  48. 第9章 結論 / p106 (0060.jp2)
  49. 謝辞 / p110 (0062.jp2)
  50. 参考文献 / p111 (0062.jp2)
  51. 関連発表論文 / p116 (0065.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000072619
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000072814
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000236933
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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