真空紫外アルゴンエキシマレーザーの高出力化とその応用に関する研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
-
真空紫外アルゴンエキシマレーザーの高出力化とその応用に関する研究
- Author
-
瀧川, 靖雄
- Author(Another name)
-
タキカワ, ヤスオ
- University
-
大阪府立大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第643号
- Degree year
-
1991-01-30
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / p1 (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 参考文献 / p8 (0009.jp2)
- 第2章 各種共振器鏡を用いたアルゴンエキシマレーザーの発振特性 / p11 (0010.jp2)
- 2-1 はじめに / p11 (0010.jp2)
- 2-2 希ガスエキシマの生成機構 / p11 (0010.jp2)
- 2-3 アルゴンエキシマレーザー装置 / p14 (0012.jp2)
- 2-4 各種共振器鏡 / p20 (0015.jp2)
- 2-5 アルゴンエキシマレーザーの発振特性 / p22 (0016.jp2)
- 2-6 考察 / p31 (0020.jp2)
- 2-7 おわりに / p34 (0022.jp2)
- 参考文献 / p35 (0022.jp2)
- 第3章 アルゴンエキシマレーザー共振器反射鏡の特性と損傷機構 / p37 (0023.jp2)
- 3-1 はじめに / p37 (0023.jp2)
- 3-2 反射鏡の特性 / p38 (0024.jp2)
- 3-3 反射鏡の表面損傷 / p53 (0031.jp2)
- 3-4 損傷耐力の計算 / p59 (0034.jp2)
- 3-5 おわりに / p63 (0036.jp2)
- 参考文献 / p65 (0037.jp2)
- 第4章 炭化珪素膜(SiC)反射鏡とMgF₂単結晶出力鏡の共振器によるアルゴンエキシマレーザーの高出力発振特性 / p67 (0038.jp2)
- 4-1 はじめに / p67 (0038.jp2)
- 4-2 出力特性 / p68 (0039.jp2)
- 4-3 繰り返し動作の発振特性 / p74 (0042.jp2)
- 4-4 考察 / p81 (0045.jp2)
- 4-5 おわりに / p82 (0046.jp2)
- 参考文献 / p84 (0047.jp2)
- 第5章 真空紫外エキシマレーザー光照射による石英表面の改質 / p85 (0047.jp2)
- 5-1 はじめに / p85 (0047.jp2)
- 5-2 石英の電子励起による構造変化 / p86 (0048.jp2)
- 5-3 レーザー光の照射方法 / p89 (0049.jp2)
- 5-4 レーザー光照射部分の表面形状の観察 / p90 (0050.jp2)
- 5-5 石英の反射と透過スペクトル / p92 (0051.jp2)
- 5-6 X線光電子分光分析法(XPS)によるSi-O結合状態の観測 / p97 (0053.jp2)
- 5-7 制限視野X線光電子分光分析法による面分析 / p104 (0057.jp2)
- 5-8 考察 / p110 (0061.jp2)
- 5-9 おわりに / p114 (0063.jp2)
- 参考文献 / p115 (0063.jp2)
- 第6章 結論 / p117 (0064.jp2)
- 謝辞 / p120 (0066.jp2)