中気圧グロープラズマの放電機構の解析法に関する研究

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著者

    • 斉藤, 善夫 サイトウ, ヨシオ

書誌事項

タイトル

中気圧グロープラズマの放電機構の解析法に関する研究

著者名

斉藤, 善夫

著者別名

サイトウ, ヨシオ

学位授与大学

北海道大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2919号

学位授与年月日

1991-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 【目次】 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 第2章 Langmuir探針法と電子エネルギー分布の測定 / p5 (0010.jp2)
  4. §2-1 プラズマの諸定数とその診断法 / p5 (0010.jp2)
  5. §2-2 Langmuir探針法の原理 / p6 (0011.jp2)
  6. §2-3 Druyvesteynの原理と電子エネルギー分布 / p11 (0016.jp2)
  7. §2-4 種々の微分法 / p14 (0019.jp2)
  8. §2-5 測定装置と測定例 / p18 (0023.jp2)
  9. 第3章 探針特性の歪みと空間電位の推定法 / p28 (0032.jp2)
  10. §3-1 回路抵抗による探針特性の歪みと補正 / p29 (0033.jp2)
  11. §3-2 イオン電流による探針特性の歪みと補正 / p37 (0041.jp2)
  12. §3-3 振動による探針特性の平滑現象 / p39 (0043.jp2)
  13. §3-4 探針長による探針特性の平滑現象 / p49 (0053.jp2)
  14. §3-6 空間電位の推定とDruyvesteynの原理の基準点 / p56 (0059.jp2)
  15. §3-7 振動のあるプラズマにおける探針測定 / p60 (0063.jp2)
  16. §3-8 探針測定における注意点 / p76 (0079.jp2)
  17. 第4章 吸収分光法による準安定原子密度の測定 / p82 (0085.jp2)
  18. §4-1 自己吸収法の原理 / p82 (0085.jp2)
  19. §4-2 測定装置と測定結果 / p85 (0088.jp2)
  20. 第5章 電子エネルギー分布とプラズマ定数 / p90 (0093.jp2)
  21. §5-1 静特性と電子エネルギー分布 / p90 (0093.jp2)
  22. §5-2 電子輸送係数 / p94 (0097.jp2)
  23. 第6章プラズマモデルの理論解析 / p109 (0112.jp2)
  24. §6-1 ボルツマン方程式 / p109 (0112.jp2)
  25. §6-2 拡散方程式による解析 / p113 (0116.jp2)
  26. §6-3 モンテ・カルロ・シミュレーションについての概説 / p118 (0121.jp2)
  27. 第7章 電子エネルギー分布を用いたプラズマモデルの検証法 / p121 (0124.jp2)
  28. §7-1 放電機構の検出法 / p121 (0124.jp2)
  29. §7-2 放電機構と電子エネルギー分布の変形 / p125 (0128.jp2)
  30. §7-3 測定値と理論値の比較と検討 / p132 (0135.jp2)
  31. §7-4 応用に対する考察 / p139 (0142.jp2)
  32. 第8章総括 / p141 (0144.jp2)
  33. 謝辞 / p143 (0146.jp2)
  34. 参考文献 / p144 (0147.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000073621
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000073818
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000237935
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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