Siトランジスタの電子線照射損傷とその回復機構に関する研究

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著者

    • 大山, 英典, 1957-2011 オオヤマ, ヒデノリ

書誌事項

タイトル

Siトランジスタの電子線照射損傷とその回復機構に関する研究

著者名

大山, 英典, 1957-2011

著者別名

オオヤマ, ヒデノリ

学位授与大学

豊橋技術科学大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第15号

学位授与年月日

1991-03-12

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文要旨 / (0003.jp2)
  2. 目次 / (0005.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  4. 1-1 研究の背景 / p1 (0007.jp2)
  5. 1-2 研究の現状 / p3 (0008.jp2)
  6. 1-3 研究の目的と論文の概要 / p11 (0012.jp2)
  7. 参考文献 / p12 (0013.jp2)
  8. 第2章 試料および実験装置 / p15 (0014.jp2)
  9. 2-1 はじめに / p15 (0014.jp2)
  10. 2-2 Siトランジスタ / p15 (0014.jp2)
  11. 2-3 電子線照射 / p19 (0016.jp2)
  12. 2-4 電気的特性測定装置 / p25 (0019.jp2)
  13. 2-5 DLTS測定装置 / p27 (0020.jp2)
  14. 2-6 通電装置 / p39 (0026.jp2)
  15. 2-7 過渡熱抵抗測定装置 / p43 (0028.jp2)
  16. 2-8 まとめ / p46 (0030.jp2)
  17. 参考文献 / p47 (0030.jp2)
  18. 第3章 電子線照射による格子欠陥の導入 / p48 (0031.jp2)
  19. 3-1 はじめに / p48 (0031.jp2)
  20. 3-2 実験 / p49 (0031.jp2)
  21. 3-3 照射による電子捕獲準位の導入 / p58 (0036.jp2)
  22. 3-4 熱処理による電子捕獲準位の回復過程 / p60 (0037.jp2)
  23. 3-5 電子捕獲準位の欠陥形態の同定 / p73 (0043.jp2)
  24. 3-6 格子欠陥の形成過程 / p76 (0045.jp2)
  25. 3-7 まとめ / p82 (0048.jp2)
  26. 参考文献 / p84 (0049.jp2)
  27. 第4章 電子線照射による電気的特性の劣化と[化学式]の劣化機構 / p86 (0050.jp2)
  28. 4-1 はじめに / p86 (0050.jp2)
  29. 4-2 実験 / p87 (0050.jp2)
  30. 4-3 照射による電気的特性の劣化 / p88 (0051.jp2)
  31. 4-4 熱処理によるhFEの回復過程 / p90 (0052.jp2)
  32. 4-5 hFEと電子捕獲準位の回復過程の比較 / p100 (0057.jp2)
  33. 4-6 hFEの劣化機構 / p106 (0060.jp2)
  34. 4-7 まとめ / p115 (0064.jp2)
  35. 参考文献 / p117 (0065.jp2)
  36. 第5章 通電による回復過程 / p118 (0066.jp2)
  37. 5-1 はじめに / p118 (0066.jp2)
  38. 5-2 実験 / p119 (0066.jp2)
  39. 5-3 A中心およびE中心の回復過程 / p122 (0068.jp2)
  40. 5-4 A中心およびE中心の回復促進機構 / p132 (0073.jp2)
  41. 5-5 hFEの回復過程 / p142 (0078.jp2)
  42. 5-6 hFEの回復促進機構 / p149 (0081.jp2)
  43. 5-7 まとめ / p151 (0082.jp2)
  44. 参考文献 / p152 (0083.jp2)
  45. 第6章 結論 / p154 (0084.jp2)
  46. 謝辞 / p157 (0085.jp2)
  47. 研究業績一覧 / p158 (0086.jp2)
  48. 付録 / p163 (0088.jp2)
  49. 付録 参考文献 / p168 (0091.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075309
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000998395
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000239623
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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