スパッタリングによる表面構造変質層形成の研究 スパッタリング ニヨル ヒョウメン コウゾウ ヘンシツ ソウケイセイ ノ ケンキュウ

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著者

    • 森下, 敏 モリシタ, サトシ

書誌事項

タイトル

スパッタリングによる表面構造変質層形成の研究

タイトル別名

スパッタリング ニヨル ヒョウメン コウゾウ ヘンシツ ソウケイセイ ノ ケンキュウ

著者名

森下, 敏

著者別名

モリシタ, サトシ

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第58号

学位授与年月日

1991-03-23

注記・抄録

博士論文

甲第053号 主査:奥山 文雄

目次

  1. 目次 / (0002.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0003.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0003.jp2)
  4. 1.2 コーンの形成 / p2 (0004.jp2)
  5. 1.3 本研究の目的と各章の概要 / p7 (0006.jp2)
  6. 第2章 多結晶Cuターゲット上に形成されたシードコーンの電子顕微鏡観察 / p9 (0007.jp2)
  7. 2.1 はじめに / p9 (0007.jp2)
  8. 2.2 実験方法 / p10 (0008.jp2)
  9. 2.3 実験結果と考察 / p12 (0009.jp2)
  10. 2.4 まとめ / p47 (0026.jp2)
  11. APPENDIX / p48 (0027.jp2)
  12. 第3章 単結晶Siウェハ上に形成されたSiコーンの高分解能電子顕微鏡観察 / p50 (0028.jp2)
  13. 3.1 はじめに / p50 (0028.jp2)
  14. 3.2 実験方法 / p50 (0028.jp2)
  15. 3.3 実験結果と考察 / p52 (0029.jp2)
  16. 3.4 まとめ / p65 (0035.jp2)
  17. 第4章 総括 / p67 (0036.jp2)
  18. 謝辞 / p69 (0037.jp2)
  19. 参考文献 / p70 (0038.jp2)
  20. 発表論文 / p75 (0040.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075632
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000075831
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000239946
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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