プラズマを用いたダイヤモンド膜の低温気相合成 プラズマ オ モチイタ ダイヤモンドマク ノ テイオン キソウ ゴウセイ

この論文をさがす

著者

    • 中尾, 節男 ナカオ, セツオ

書誌事項

タイトル

プラズマを用いたダイヤモンド膜の低温気相合成

タイトル別名

プラズマ オ モチイタ ダイヤモンドマク ノ テイオン キソウ ゴウセイ

著者名

中尾, 節男

著者別名

ナカオ, セツオ

学位授与大学

名古屋工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第64号

学位授与年月日

1991-03-23

注記・抄録

博士論文

甲第064号 主査:丸野 重雄

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
  3. 1.1 はじめに / p1 (0004.jp2)
  4. 1.2 ダイヤモンド膜の特性と応用 / p2 (0005.jp2)
  5. 1.3 ダイヤモンド膜の気相合成の歴史 / p5 (0006.jp2)
  6. 1.4 ダイヤモンド膜の作製 / p6 (0007.jp2)
  7. 1.5 本研究の目的と概要 / p9 (0008.jp2)
  8. 第1章の参考文献 / p11 (0009.jp2)
  9. 第2章 高周波イオンプレーティング法によるダイヤモンド状カーボン膜の作製 / p14 (0011.jp2)
  10. 2.1 はじめに / p14 (0011.jp2)
  11. 2.2 実験方法 / p15 (0011.jp2)
  12. 2.3 結果と考察 / p16 (0012.jp2)
  13. 2.4 まとめ / p27 (0017.jp2)
  14. 第2章の参考文献 / p28 (0018.jp2)
  15. 第3章 高周波プラズマCVD法によるダイヤモンド状カーボン膜の作製 / p30 (0019.jp2)
  16. 3.1 はじめに / p30 (0019.jp2)
  17. 3.2 実験方法 / p30 (0019.jp2)
  18. 3.3 結果と考察 / p32 (0020.jp2)
  19. 3.4 まとめ / p37 (0022.jp2)
  20. 第3章の参考文献 / p38 (0023.jp2)
  21. 第4章 DCプラズマCVD法による比較的低い基板温度でのダイヤモンド構造の形成 / p40 (0024.jp2)
  22. 4.1 はじめに / p40 (0024.jp2)
  23. 4.2 実験方法 / p41 (0024.jp2)
  24. 4.3 放電電流および基板温度によるダイヤモンド膜の変化 / p42 (0025.jp2)
  25. 4.4 放電電流および基板温度のダイヤモンド構造形成への影響 / p48 (0028.jp2)
  26. 4.5 まとめ / p50 (0029.jp2)
  27. 第4章の参考文献 / p51 (0029.jp2)
  28. 第5章 水素プラズマによる基板の前処理のダイヤモンド膜に与える影響 / p53 (0030.jp2)
  29. 5.1 はじめに / p53 (0030.jp2)
  30. 5.2 実験方法 / p54 (0031.jp2)
  31. 5.3 結果と考察 / p54 (0031.jp2)
  32. 5.4 まとめ / p61 (0034.jp2)
  33. 第5章の参考文献 / p61 (0034.jp2)
  34. 第6章 DCプラズマCVD法によるA1基板上へのダイヤモンド膜の作製 / p64 (0036.jp2)
  35. 6.1 はじめに / p64 (0036.jp2)
  36. 6.2 実験方法 / p65 (0036.jp2)
  37. 6.3 結果と考察 / p66 (0037.jp2)
  38. 6.4 まとめ / p82 (0045.jp2)
  39. 第6章の参考文献 / p83 (0045.jp2)
  40. 第7章 総括 / p85 (0046.jp2)
  41. 付録1 水素化カーボン膜のC-Hストレッチング振動による赤外吸収スペクトル / p88 (0048.jp2)
  42. 付録2 ダイヤモンド,グラファイト,アモルファスカーボンのエネルギー損失スペクトル / p89 (0048.jp2)
  43. 謝辞 / p90 (0049.jp2)
  44. 本論文に関連した研究発表 / p91 (0049.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075638
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000075837
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000239952
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ