飛行時間型低速イオン散乱法による表面構造解析に関する研究 ヒコウ ジカンガタ テイソク イオン サンランホウ ニヨル ヒョウメン コウゾウ カイセキ ニカンスル ケンキュウ

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著者

    • 住友, 弘二 スミトモ, コウジ

書誌事項

タイトル

飛行時間型低速イオン散乱法による表面構造解析に関する研究

タイトル別名

ヒコウ ジカンガタ テイソク イオン サンランホウ ニヨル ヒョウメン コウゾウ カイセキ ニカンスル ケンキュウ

著者名

住友, 弘二

著者別名

スミトモ, コウジ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4357号

学位授与年月日

1991-03-26

注記・抄録

博士論文

09751

博士(工学)

1991-03-26

大阪大学

14401甲第04357号

目次

  1. 目次 / p7 (0006.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0008.jp2)
  3. 第2章 低速イオン散乱法(ISS)及び低速イオン弾性反跳粒子検出法(LE-ERDA)による表面研究 / p11 (0013.jp2)
  4. 2.1 緒言 / p11 (0013.jp2)
  5. 2.2 ISS,ERDAの基礎事項と問題点 / p11 (0013.jp2)
  6. 2.3 直衝突型ISS(ICISS)による構造解析 / p18 (0017.jp2)
  7. 2.4 ERDAによる表面軽元素の分析 / p21 (0018.jp2)
  8. 2.5 計算機シミュレーション / p23 (0019.jp2)
  9. 2.6 結言 / p27 (0021.jp2)
  10. 第3章 実験装置と実験手法 / p28 (0022.jp2)
  11. 3.1 緒言 / p28 (0022.jp2)
  12. 3.2 飛行時間型(TOF)エネルギー分析装置の製作と性能 / p28 (0022.jp2)
  13. 3.3 測定用超高真空装置 / p35 (0025.jp2)
  14. 3.4 計算機制御による測定の自動化 / p38 (0027.jp2)
  15. 3.5 実験手法 / p40 (0028.jp2)
  16. 3.6 結言 / p43 (0029.jp2)
  17. 第4章 Si(111)面上のAg薄膜の構造解析 / p44 (0030.jp2)
  18. 4.1 緒言 / p44 (0030.jp2)
  19. 4.2 実験結果 / p44 (0030.jp2)
  20. 4.3 検討 / p52 (0034.jp2)
  21. 4.4 結言 / p58 (0037.jp2)
  22. 第5章 水素終端Si(111)面上のAg薄膜成長過程 / p59 (0037.jp2)
  23. 5.1 緒言 / p59 (0037.jp2)
  24. 5.2 実験結果 / p59 (0037.jp2)
  25. 5.3 検討 / p73 (0044.jp2)
  26. 5.4 結言 / p76 (0046.jp2)
  27. 第6章 表面近傍における低速イオンの散乱過程 / p78 (0047.jp2)
  28. 6.1 緒言 / p78 (0047.jp2)
  29. 6.2 計算結果と検討 / p78 (0047.jp2)
  30. 6.3 結言 / p90 (0053.jp2)
  31. 第7章 アルゴンイオン衝撃によるSi(100)表面損傷 / p91 (0053.jp2)
  32. 7.1 緒言 / p91 (0053.jp2)
  33. 7.2 実験結果 / p91 (0053.jp2)
  34. 7.3 検討 / p96 (0056.jp2)
  35. 7.4 結言 / p101 (0058.jp2)
  36. 第8章 総括 / p103 (0059.jp2)
  37. 謝辞 / p106 (0061.jp2)
  38. 参考文献 / p107 (0061.jp2)
  39. 付録 チョッピングステージの設計 / p116 (0066.jp2)
  40. A.1 偏向板の電圧 / p116 (0066.jp2)
  41. A.2 パルス電圧の幅 / p117 (0066.jp2)
  42. A.3 ビームの通過時間幅 / p118 (0067.jp2)
  43. A.4 エネルギーの変化 / p121 (0068.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075792
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000075992
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000240106
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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