Study of Ga ion implantation effect on InGaAs/InP system and its application to low dimensional structures InGaAs/InP系材料におけるGaイオン注入効果とその低次元構造への応用に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 兪, 淳載 ユ, スンゼ

書誌事項

タイトル

Study of Ga ion implantation effect on InGaAs/InP system and its application to low dimensional structures

タイトル別名

InGaAs/InP系材料におけるGaイオン注入効果とその低次元構造への応用に関する研究

著者名

兪, 淳載

著者別名

ユ, スンゼ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4364号

学位授与年月日

1991-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. CONTENTS / p1 (0003.jp2)
  2. I. INTRODUCTION / p1 (0006.jp2)
  3. II. EXPERIMENTAL / p6 (0009.jp2)
  4. A. GSMBE Growth of InGaAs/InP SL Structures / p6 (0009.jp2)
  5. B. Ga Ion Implantation and Fabrication of Quantum Wire / p17 (0014.jp2)
  6. C. Characterization of Ga Ion Implanted Samples / p20 (0016.jp2)
  7. III. EFFECT OF Ga ION IMPLANTATION / p23 (0017.jp2)
  8. A. Study of Crystalline Damage by Raman Scattering / p23 (0017.jp2)
  9. B. Recovery of Crystallinity and High Electrical Resistivity / p45 (0028.jp2)
  10. C. Optical Study by Photoluminescence / p54 (0033.jp2)
  11. D. Concluding Remarks / p58 (0035.jp2)
  12. IV. INTERDIFFUSION OF InGaAs/InP SUPERLATTICES / p62 (0037.jp2)
  13. A. Disordering in Interfaces of SL Structures / p62 (0037.jp2)
  14. B. Thermal Interdiffusion / p64 (0038.jp2)
  15. C. Ga Ion Implantation Induced Interdiffusion / p81 (0046.jp2)
  16. D. Concluding Remarks / p100 (0056.jp2)
  17. V. LOW DIMENSIONAL InGaAs/InP QUANTUM WIRE STRUCTURES BY Ga FOCUSED ION BEAM IMPLANTATION / p103 (0057.jp2)
  18. A. Low Dimensional Structure / p103 (0057.jp2)
  19. B. Fabrication by Ga Focused Ion Beam Implantation / p103 (0057.jp2)
  20. C. Optical Properties of InGaAs Quantum Wires / p111 (0061.jp2)
  21. D. Concluding Remarks / p123 (0067.jp2)
  22. VI. CONCLUSION / p125 (0068.jp2)
  23. REFERENCES / p128 (0070.jp2)
  24. ACKNOWLEDGMENT / p135 (0073.jp2)
  25. LIST OF PUBLICATIONS / p136 (0074.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075799
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000075999
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000240113
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ