Laser-induced microprocessing of Mn-Zn ferrite レーザープロセッシングによるMn-Znフェライト超微細加工

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著者

    • 陸, 永楓 ルウ, ヨンフォン

書誌事項

タイトル

Laser-induced microprocessing of Mn-Zn ferrite

タイトル別名

レーザープロセッシングによるMn-Znフェライト超微細加工

著者名

陸, 永楓

著者別名

ルウ, ヨンフォン

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4371号

学位授与年月日

1991-03-26

注記・抄録

博士論文

09765

博士(工学)

1991-03-26

大阪大学

14401甲第04371号

目次

  1. CONTENT / (0004.jp2)
  2. ABSTRACT / (0003.jp2)
  3. Chapter 1. PREFACE / p1 (0006.jp2)
  4. 1-1. Background of This Study / p1 (0006.jp2)
  5. 1-2. Laser-Induced Microprocessing / p4 (0008.jp2)
  6. 1-3. Outline of Thesis / p6 (0009.jp2)
  7. Chapter 2 . THEORY AND EXPERIMENTAL / p8 (0010.jp2)
  8. 2-1. Laser Beam-Induced Temperature Rise / p8 (0010.jp2)
  9. 2-2. Analysis of Thin Film by AES and XPS / p15 (0013.jp2)
  10. 2-3. RBS Measurements for Depth and Thin Film Analysis / p18 (0015.jp2)
  11. 2-4. Polarization Dependence of Reflectivity / p21 (0016.jp2)
  12. Chapter 3. LASER-INDUCED DRY ETCHING / p26 (0019.jp2)
  13. 3-1. Introduction / p26 (0019.jp2)
  14. 3-2. Etching in CCl₄ Gas Atmosphere / p27 (0019.jp2)
  15. 3-3. Etching in CCl₂F₂ Gas Atmosphere / p38 (0025.jp2)
  16. 3-4. Summary / p51 (0031.jp2)
  17. Chapter 4. LASER-INDUCED WET ETCHING AND MeV ION IMPLANTATION / p53 (0032.jp2)
  18. 4-1. Introduction / p53 (0032.jp2)
  19. 4-2. Etching in H₃P0₄ Aqueous Solution / p54 (0033.jp2)
  20. 4-3. Etching Suppression by MeV Ion Implantation / p66 (0039.jp2)
  21. 4-4. Modification of Magnetic Property by MeV Ion Implantation / p77 (0044.jp2)
  22. 4-5. Summary / p81 (0046.jp2)
  23. Chapter 5. LASER-INDUCED DEPOSITION / p83 (0047.jp2)
  24. 5-1. Introduction / p83 (0047.jp2)
  25. 5-2. Deposition of Buried Si0₂ Lines from SiCl₄ Gas Ambient / p84 (0048.jp2)
  26. 5-3. Deposition of Ni-Lines from NiSO₄ Solution / p94 (0053.jp2)
  27. 5-4. Deposition of Ag-Lines from CH₃C00Ag Solid Film / p103 (0057.jp2)
  28. 5-5. Summary / p111 (0061.jp2)
  29. Chapter 6. CONCLUSIONS / p113 (0062.jp2)
  30. APPENDIX / p116 (0064.jp2)
  31. ACKNOWLEDGMENTS / p118 (0065.jp2)
  32. REFERENCES / p120 (0066.jp2)
  33. PUBLICATIONS / p127 (0069.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075806
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000076006
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000240120
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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