二次イオン質量分析(SIMS)の機能拡張に関する基礎的研究

この論文をさがす

著者

    • 井上, 和之 イノウエ, カズユキ

書誌事項

タイトル

二次イオン質量分析(SIMS)の機能拡張に関する基礎的研究

著者名

井上, 和之

著者別名

イノウエ, カズユキ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第5305号

学位授与年月日

1991-02-28

注記・抄録

博士論文

09533

博士(工学)

1991-02-28

大阪大学

14401乙第05305号

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
  3. 1-1 緒言 / p1 (0004.jp2)
  4. 1-2 二次イオン質量分析(SIMS)の定量化 / p2 (0005.jp2)
  5. 1-3 絶縁性材料のSIMS分析 / p18 (0013.jp2)
  6. 1-4 拡散係数の測定と干渉する質量数の識別 / p18 (0013.jp2)
  7. 1-5 本研究の目的と内容 / p19 (0013.jp2)
  8. 第2章 純金属における二次イオン生成 / p23 (0015.jp2)
  9. 2-1 緒言 / p23 (0015.jp2)
  10. 2-2 装置 / p23 (0015.jp2)
  11. 2-3 方法 / p25 (0016.jp2)
  12. 2-4 結果 / p30 (0019.jp2)
  13. 2-5 考察 / p31 (0019.jp2)
  14. 2-6 結言 / p39 (0023.jp2)
  15. 第3章 合金における二次イオン生成 / p40 (0024.jp2)
  16. 3-1 緒言 / p40 (0024.jp2)
  17. 3-2 試料 / p40 (0024.jp2)
  18. 3-3 方法 / p43 (0025.jp2)
  19. 3-4 結果と考察 / p43 (0025.jp2)
  20. 3-5 結言 / p59 (0033.jp2)
  21. 第4章 絶縁性材料のSIMS分析 / p60 (0034.jp2)
  22. 4-1 緒言 / p60 (0034.jp2)
  23. 4-2 帯電の中和法 / p60 (0034.jp2)
  24. 4-3 新しい絶縁性評価法 / p69 (0038.jp2)
  25. 4-4 結言 / p81 (0044.jp2)
  26. 第5章 拡散係数の測定と干渉する質量数の識別 / p83 (0045.jp2)
  27. 5-1 緒言 / p83 (0045.jp2)
  28. 5-2 拡散係数の測定法 / p83 (0045.jp2)
  29. 5-3 酸素とイオウの識別 / p95 (0051.jp2)
  30. 5-4 結言 / p102 (0055.jp2)
  31. 6章 結論 / p103 (0055.jp2)
  32. 謝辞 / p105 (0056.jp2)
  33. 参考文献 / p106 (0057.jp2)
0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075902
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000076103
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000240216
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ