ダイナミックイオンビームミキシング法による窒化物セラミックス薄膜の形成とその結晶配向性 ダイナミック イオン ビーム ミキシングホウ ニヨル チッカブツ セラミックス ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ ケッショウ ハイコウセイ

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    • 木内, 正人 キウチ, マサト

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Title

ダイナミックイオンビームミキシング法による窒化物セラミックス薄膜の形成とその結晶配向性

Other Title

ダイナミック イオン ビーム ミキシングホウ ニヨル チッカブツ セラミックス ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ ケッショウ ハイコウセイ

Author

木内, 正人

Author(Another name)

キウチ, マサト

University

大阪大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

乙第5308号

Degree year

1991-02-28

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 目次 / p3 (0004.jp2)
  2. 摘要 / p1 (0003.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  4. 1-1 はじめに / p1 (0006.jp2)
  5. 1-2 ドライプロセスによる表面改質技術の現状 / p2 (0007.jp2)
  6. 1-3 ダイナミックイオンビームミキシング法 / p5 (0008.jp2)
  7. 1-4 本論文の目的と内容 / p7 (0009.jp2)
  8. 参考文献 / p9 (0010.jp2)
  9. 第2章 試料作製およびその解析 / p11 (0011.jp2)
  10. 2-1 はじめに / p11 (0011.jp2)
  11. 2-2 配向性セラミックス薄膜の作製 / p11 (0011.jp2)
  12. 2-3 各種分析法による解析 / p14 (0013.jp2)
  13. 2-4 結論 / p23 (0017.jp2)
  14. 参考文献 / p23 (0017.jp2)
  15. 第3章 ミキシング層 / p24 (0018.jp2)
  16. 3-1 はじめに / p24 (0018.jp2)
  17. 3-2 ミキシング層の構造とその効果 / p27 (0019.jp2)
  18. 3-3 結論 / p32 (0022.jp2)
  19. 参考文献 / p32 (0022.jp2)
  20. 第4章 窒化チタン薄膜の結晶配向性 / p33 (0022.jp2)
  21. 4-1 はじめに / p33 (0022.jp2)
  22. 4-2 窒化チタン薄膜の成長過程 / p35 (0023.jp2)
  23. 4-3 供給比による結晶配向性の変化 / p39 (0025.jp2)
  24. 4-4 吸着窒素とイオンビームの影響 / p44 (0028.jp2)
  25. 4-5 結論 / p53 (0032.jp2)
  26. 参考文献 / p53 (0032.jp2)
  27. 第5章 コンピュ―ターシミュレーションによる損傷評価 / p55 (0033.jp2)
  28. 5-1 はじめに / p55 (0033.jp2)
  29. 5-2 シミュレーションモデル / p55 (0033.jp2)
  30. 5-3 シミュレーション結果 / p61 (0036.jp2)
  31. 5-4 考察 / p66 (0039.jp2)
  32. 5-5 結論 / p69 (0040.jp2)
  33. 参考文献 / p69 (0040.jp2)
  34. 第6章 半窒化チタン薄膜の形成 / p71 (0041.jp2)
  35. 6-1 半窒化チタン薄膜 / p71 (0041.jp2)
  36. 6-2 ダイナミックミキシング法による半窒化チタン薄膜の形成 / p71 (0041.jp2)
  37. 参考文献 / p78 (0045.jp2)
  38. 第7章 窒化クロム薄膜の形成 / p79 (0045.jp2)
  39. 7-1 はじめに / p79 (0045.jp2)
  40. 7-2 実験および結果 / p79 (0045.jp2)
  41. 7-3 考察 / p85 (0048.jp2)
  42. 7-4 結論 / p88 (0050.jp2)
  43. 参考文献 / p89 (0050.jp2)
  44. 第8章 窒化タンタル薄膜の形成と結晶配向性 / p90 (0051.jp2)
  45. 8-1 はじめに / p90 (0051.jp2)
  46. 8-2 実験および結果 / p92 (0052.jp2)
  47. 8-3 考察 / p96 (0054.jp2)
  48. 8-4 結論 / p98 (0055.jp2)
  49. 参考文献 / p98 (0055.jp2)
  50. 第9章 結論 / p99 (0055.jp2)
  51. 謝辞 / p101 (0056.jp2)
  52. 研究発表目録 / p102 (0057.jp2)
7access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000075905
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000076106
  • DOI(NDL)
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000000240219
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections

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