レーザー誘起熱化学反応による微細加工装置の開発研究

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著者

    • 長友, 正平 ナガトモ, ショウヘイ

書誌事項

タイトル

レーザー誘起熱化学反応による微細加工装置の開発研究

著者名

長友, 正平

著者別名

ナガトモ, ショウヘイ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第5383号

学位授与年月日

1991-03-14

注記・抄録

博士論文

09614

博士(工学)

1991-03-14

大阪大学

14401乙第05383号

目次

  1. 目次 / (0005.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1-1 研究の背景 / p1 (0006.jp2)
  4. 1-2 研究の目的 / p4 (0008.jp2)
  5. 1-3 論文の構成 / p7 (0009.jp2)
  6. 第2章 レーザー加工装置の基礎原理 / p9 (0010.jp2)
  7. 2-1 はじめに / p9 (0010.jp2)
  8. 2-2 レーザー加工法の基礎 / p10 (0011.jp2)
  9. 2-3 フェライトのレーザー加工法とその特徴 / p14 (0013.jp2)
  10. 2-4 センダスト/フェライト積層構造のレーザー加工 / p30 (0021.jp2)
  11. 2-5 まとめ / p41 (0026.jp2)
  12. 第3章 レーザー誘起熱化学反応加工装置の設計製作 / p42 (0027.jp2)
  13. 3-1 はじめに / p42 (0027.jp2)
  14. 3-2 レーザービーム集束理論 / p42 (0027.jp2)
  15. 3-3 レーザービーム集束光学系と同時観察系 / p53 (0032.jp2)
  16. 3-4 精密3軸ステージ / p56 (0034.jp2)
  17. 3-5 ドライエッチングチャンバーの光軸補正 / p59 (0035.jp2)
  18. 3-6 ガス制御系 / p63 (0037.jp2)
  19. 3-7 まとめ / p67 (0039.jp2)
  20. 第4章 量産型レーザー加工装置の開発 / p69 (0040.jp2)
  21. 4-1 はじめに / p69 (0040.jp2)
  22. 4-2 2ビームレーザー光学系の設計 / p69 (0040.jp2)
  23. 4-3 2ビーム光学系の設計 / p75 (0043.jp2)
  24. 4-4 2ビーム光学系の製作 / p78 (0045.jp2)
  25. 4-5 2ビーム光学系の改良設計 / p86 (0049.jp2)
  26. 4-6 マルチビームの可能性検討 / p88 (0050.jp2)
  27. 4-7 まとめ / p88 (0050.jp2)
  28. 第5章 レーザー誘起熱化学反応加工の応用 / p90 (0051.jp2)
  29. 5-1 はじめに / p90 (0051.jp2)
  30. 5-2 Mn-Znフェライトの超狭トラック加工 / p90 (0051.jp2)
  31. 5-3 MIG型ヘッドのトラック加工 / p92 (0052.jp2)
  32. 5-4 フェライト以外の材料加工の検討 / p99 (0055.jp2)
  33. 5-5 まとめ / p100 (0056.jp2)
  34. 第6章 結論 / p101 (0056.jp2)
  35. 参考文献 / p103 (0057.jp2)
  36. 研究業績 / p105 (0058.jp2)
  37. 謝辞 / p107 (0059.jp2)
  38. 付録 / p108 (0060.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000075980
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000076181
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000240294
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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