高解像度露光シミュレーションに関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
高解像度露光シミュレーションに関する研究
- 著者名
-
長谷川, 晋也
- 著者別名
-
ハセガワ, シンヤ
- 学位授与大学
-
大阪大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第5385号
- 学位授与年月日
-
1991-03-14
注記・抄録
博士論文
目次
- 目次 / (0004.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1.1 研究の背景 / p1 (0005.jp2)
- 1.2 研究の意義 / p2 (0006.jp2)
- 1.3 論文の構成 / p3 (0006.jp2)
- 第2章 電子線露光シミュレーション / p6 (0008.jp2)
- 2.1 序 / p6 (0008.jp2)
- 2.2 モンテカルロシミュレーションの高速化 / p7 (0008.jp2)
- 2.3 描画シミュレーション / p18 (0014.jp2)
- 2.4 アラインメントマーク検出シミュレーション / p27 (0018.jp2)
- 2.5 まとめ / p46 (0028.jp2)
- 第3章 形状測定シミュレーション / p50 (0030.jp2)
- 3.1 序 / p50 (0030.jp2)
- 3.2 全波形比較法 / p50 (0030.jp2)
- 3.3 データベース作成 / p52 (0031.jp2)
- 3.4 測定結果 / p59 (0034.jp2)
- 3.5 まとめ / p64 (0037.jp2)
- 第4章 X線露光シミュレーション / p66 (0038.jp2)
- 4.1 序 / p66 (0038.jp2)
- 4.2 フレネル回折計算の汎用化 / p66 (0038.jp2)
- 4.3 π位相シフトマスクへの適用 / p69 (0039.jp2)
- 4.4 長波長X線露光への適用 / p80 (0045.jp2)
- 4.5 放射光強度一定化への適用 / p88 (0049.jp2)
- 4.6 まとめ / p96 (0053.jp2)
- 第5章 結論 / p100 (0055.jp2)
- 謝辞 / p102 (0056.jp2)
- 発表論文目録 / p103 (0056.jp2)
