多結晶シリコン薄膜トランジスタの高性能化に関する研究 takessho shirikon hakumaku toranjisuta no koseinoka ni kansuru kenkyu

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著者

    • 関, 俊司 セキ, シュンジ

書誌事項

タイトル

多結晶シリコン薄膜トランジスタの高性能化に関する研究

タイトル別名

takessho shirikon hakumaku toranjisuta no koseinoka ni kansuru kenkyu

著者名

関, 俊司

著者別名

セキ, シュンジ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第798号

学位授与年月日

1990-10-18

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / p1 (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1.1 研究の背景 / p1 (0005.jp2)
  4. 1.2 従来の研究経過と本研究の目的 / p4 (0007.jp2)
  5. 1.3 論文の構成 / p7 (0008.jp2)
  6. 参考文献 / p8 (0009.jp2)
  7. 第2章 シリコン薄膜の再結品化と電気特性 / p11 (0010.jp2)
  8. 2.1 諸言 / p11 (0010.jp2)
  9. 2.2 多結品シリコン薄膜トランジスタの動作機構 / p13 (0011.jp2)
  10. 2.3 Poly-Si TFTの動作特性解析 / p17 (0013.jp2)
  11. 2.4 水素化多結晶シリコンの伝導機構 / p33 (0021.jp2)
  12. 2.5 要約 / p49 (0029.jp2)
  13. 参考文献 / p51 (0030.jp2)
  14. 第3章 多結晶シリコン薄膜トランジスタの高性能化 / p52 (0031.jp2)
  15. 3.1 緒言 / p52 (0031.jp2)
  16. 3.2 多結晶シリコン薄膜中の不純物拡散 / p53 (0031.jp2)
  17. 3.3 LDD構造多結晶シリコン薄膜トランジスタの動作特性解析 / p59 (0034.jp2)
  18. 3.4 多結晶シリコン薄膜トランジスタのリーグ電流に関するモデル / p70 (0040.jp2)
  19. 3.5 LDD構造Poly-Si TFTの最適設計 / p81 (0045.jp2)
  20. 3.6 要約 / p85 (0047.jp2)
  21. 参考文献 / p87 (0048.jp2)
  22. 第4章 Ta₂O₅薄膜の高品質化 / p88 (0049.jp2)
  23. 4.1 諸言 / p88 (0049.jp2)
  24. 4.2 スパッタリング法によって形成したTa₂O₅薄膜の誘電特性 / p90 (0050.jp2)
  25. 4.3 スパッタリング法によって形成したTa₂O₅薄膜中の捕獲準位密度 / p95 (0052.jp2)
  26. 4.4 Si上におけるTa₂O₅薄膜の形成機構 / p111 (0060.jp2)
  27. 4.5 要約 / p130 (0070.jp2)
  28. 参考文献 / p131 (0070.jp2)
  29. 第5章 Ta₂0₅薄膜のPoly-Si TFT への応用 / p132 (0071.jp2)
  30. 5.1 諸言 / p132 (0071.jp2)
  31. 5.2 Ta₂O₅/Si界面電気特性 / p133 (0071.jp2)
  32. 5.3 Si上に形成したTa₂O₅薄膜の電気伝導特性 / p146 (0078.jp2)
  33. 5.4 Ta₂O₅薄膜の微細加工方法 / p151 (0080.jp2)
  34. 5.5 Poly-Si TFT への応用 / p158 (0084.jp2)
  35. 5.6 要約 / p163 (0086.jp2)
  36. 参考文献 / p165 (0087.jp2)
  37. 第6章 結論 / p166 (0088.jp2)
  38. 謝辞 / p172 (0091.jp2)
  39. 本研究に関する発表論文 / p173 (0091.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000076636
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000076839
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000240950
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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