超高温高周波誘導プラズマへの液体噴霧による酸化物超微粒子および薄膜の合成に関する研究

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著者

    • 鈴木, 光雄 スズキ, ミツオ

書誌事項

タイトル

超高温高周波誘導プラズマへの液体噴霧による酸化物超微粒子および薄膜の合成に関する研究

著者名

鈴木, 光雄

著者別名

スズキ, ミツオ

学位授与大学

東北大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第4433号

学位授与年月日

1991-03-28

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目次 / (0005.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0008.jp2)
  3. 1-1 緒言 / p1 (0008.jp2)
  4. 1-2 プラズマの分類 / p4 (0011.jp2)
  5. 1-3 高周波誘導プラズマ(ICP) / p7 (0014.jp2)
  6. 1-4 プラズマ診断 / p10 (0017.jp2)
  7. 1-5 ICPの材料合成への応用 / p18 (0025.jp2)
  8. 1-6 本論文の目的と構成 / p42 (0049.jp2)
  9. 第2章 実験方法 / p46 (0053.jp2)
  10. 2-1 はじめに / p46 (0053.jp2)
  11. 2-2 酸化物超微粒子の合成 / p46 (0053.jp2)
  12. 2-3 酸化物薄膜の合成 / p54 (0061.jp2)
  13. 第3章 酸化物超微粒子の合成 / p60 (0067.jp2)
  14. 3-1 はじめに / p60 (0067.jp2)
  15. 3-2 結果 / p60 (0067.jp2)
  16. 3-3 考察 / p87 (0094.jp2)
  17. 3-4 小括 / p115 (0122.jp2)
  18. 第4章 酸化物薄膜の合成 / p117 (0124.jp2)
  19. 4-1 はじめに / p117 (0124.jp2)
  20. 4-2 結果 / p117 (0124.jp2)
  21. 4-3 考察 / p153 (0160.jp2)
  22. 4-4 小括 / p156 (0163.jp2)
  23. 第5章 総括 / p158 (0165.jp2)
  24. 参考文献 / p160 (0167.jp2)
  25. 発表論文 / p171 (0178.jp2)
  26. 学会発表 / p173 (0180.jp2)
  27. 謝辞 / p176 (0183.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000076813
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000077016
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000241127
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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