超高温高周波誘導プラズマへの液体噴霧による酸化物超微粒子および薄膜の合成に関する研究

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Author

    • 鈴木, 光雄 スズキ, ミツオ

Bibliographic Information

Title

超高温高周波誘導プラズマへの液体噴霧による酸化物超微粒子および薄膜の合成に関する研究

Author

鈴木, 光雄

Author(Another name)

スズキ, ミツオ

University

東北大学

Types of degree

工学博士

Grant ID

甲第4433号

Degree year

1991-03-28

Note and Description

博士論文

Table of Contents

  1. 論文目次 / (0005.jp2)
  2. 第1章 緒論 / p1 (0008.jp2)
  3. 1-1 緒言 / p1 (0008.jp2)
  4. 1-2 プラズマの分類 / p4 (0011.jp2)
  5. 1-3 高周波誘導プラズマ(ICP) / p7 (0014.jp2)
  6. 1-4 プラズマ診断 / p10 (0017.jp2)
  7. 1-5 ICPの材料合成への応用 / p18 (0025.jp2)
  8. 1-6 本論文の目的と構成 / p42 (0049.jp2)
  9. 第2章 実験方法 / p46 (0053.jp2)
  10. 2-1 はじめに / p46 (0053.jp2)
  11. 2-2 酸化物超微粒子の合成 / p46 (0053.jp2)
  12. 2-3 酸化物薄膜の合成 / p54 (0061.jp2)
  13. 第3章 酸化物超微粒子の合成 / p60 (0067.jp2)
  14. 3-1 はじめに / p60 (0067.jp2)
  15. 3-2 結果 / p60 (0067.jp2)
  16. 3-3 考察 / p87 (0094.jp2)
  17. 3-4 小括 / p115 (0122.jp2)
  18. 第4章 酸化物薄膜の合成 / p117 (0124.jp2)
  19. 4-1 はじめに / p117 (0124.jp2)
  20. 4-2 結果 / p117 (0124.jp2)
  21. 4-3 考察 / p153 (0160.jp2)
  22. 4-4 小括 / p156 (0163.jp2)
  23. 第5章 総括 / p158 (0165.jp2)
  24. 参考文献 / p160 (0167.jp2)
  25. 発表論文 / p171 (0178.jp2)
  26. 学会発表 / p173 (0180.jp2)
  27. 謝辞 / p176 (0183.jp2)
2access

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000076813
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000077016
  • DOI(NDL)
  • NDLBibID
    • 000000241127
  • Source
    • NDL ONLINE
    • NDL Digital Collections
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