超高温高周波誘導プラズマへの液体噴霧による酸化物超微粒子および薄膜の合成に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
-
超高温高周波誘導プラズマへの液体噴霧による酸化物超微粒子および薄膜の合成に関する研究
- Author
-
鈴木, 光雄
- Author(Another name)
-
スズキ, ミツオ
- University
-
東北大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
甲第4433号
- Degree year
-
1991-03-28
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 論文目次 / (0005.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0008.jp2)
- 1-1 緒言 / p1 (0008.jp2)
- 1-2 プラズマの分類 / p4 (0011.jp2)
- 1-3 高周波誘導プラズマ(ICP) / p7 (0014.jp2)
- 1-4 プラズマ診断 / p10 (0017.jp2)
- 1-5 ICPの材料合成への応用 / p18 (0025.jp2)
- 1-6 本論文の目的と構成 / p42 (0049.jp2)
- 第2章 実験方法 / p46 (0053.jp2)
- 2-1 はじめに / p46 (0053.jp2)
- 2-2 酸化物超微粒子の合成 / p46 (0053.jp2)
- 2-3 酸化物薄膜の合成 / p54 (0061.jp2)
- 第3章 酸化物超微粒子の合成 / p60 (0067.jp2)
- 3-1 はじめに / p60 (0067.jp2)
- 3-2 結果 / p60 (0067.jp2)
- 3-3 考察 / p87 (0094.jp2)
- 3-4 小括 / p115 (0122.jp2)
- 第4章 酸化物薄膜の合成 / p117 (0124.jp2)
- 4-1 はじめに / p117 (0124.jp2)
- 4-2 結果 / p117 (0124.jp2)
- 4-3 考察 / p153 (0160.jp2)
- 4-4 小括 / p156 (0163.jp2)
- 第5章 総括 / p158 (0165.jp2)
- 参考文献 / p160 (0167.jp2)
- 発表論文 / p171 (0178.jp2)
- 学会発表 / p173 (0180.jp2)
- 謝辞 / p176 (0183.jp2)