Growth and characterization of insulating oxide films on silicon Si上の酸化物絶縁体薄膜の形成と評価

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著者

    • 福本, 博文 フクモト, ヒロフミ

書誌事項

タイトル

Growth and characterization of insulating oxide films on silicon

タイトル別名

Si上の酸化物絶縁体薄膜の形成と評価

著者名

福本, 博文

著者別名

フクモト, ヒロフミ

学位授与大学

広島大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第976号

学位授与年月日

1991-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. Contents / p7 (0005.jp2)
  2. 1 Introduction / p1 (0008.jp2)
  3. REFERENCES / p5 (0010.jp2)
  4. 2 Growth of Crystalline ZrO₂ Films on Si / p7 (0011.jp2)
  5. 2.1 Introduction / p7 (0011.jp2)
  6. 2.2 Experimental Procedures / p8 (0012.jp2)
  7. 2.3 Results and Discussion / p9 (0012.jp2)
  8. 2.4 Summary / p14 (0015.jp2)
  9. REFERENCES / p15 (0015.jp2)
  10. 3 Growth of Crystalline ZrO₂-Y₂O₃ films on Si / p17 (0016.jp2)
  11. 3.1 Introduction / p17 (0016.jp2)
  12. 3.2 Experimental Procedures / p18 (0017.jp2)
  13. 3.3 Characterization of [化学式] Films / p20 (0018.jp2)
  14. 3.4 Summary / p30 (0023.jp2)
  15. REFERENCES / p31 (0023.jp2)
  16. 4 Electrical Characteristics of ZrO₂-Y₂O₃ Dielectric Films / p33 (0024.jp2)
  17. 4.1 Introduction / p33 (0024.jp2)
  18. 4.2 ZrO₂/SiO₂ Films / p34 (0025.jp2)
  19. 4.3 Epitaxial YSZ Films / p43 (0029.jp2)
  20. 4.4 Summary / p45 (0030.jp2)
  21. REFERENCES / p49 (0032.jp2)
  22. 5 Evaluation of Crystalline Quality of ZrO₂-Y₂O₃ Films on Si by Ion Beam Channeling / p51 (0033.jp2)
  23. 5.1 Introduction / p51 (0033.jp2)
  24. 5.2 Experiment / p51 (0033.jp2)
  25. 5.3 Channeling / p52 (0034.jp2)
  26. 5.4 Defect Analysis / p59 (0037.jp2)
  27. 5.5 Characterization of ZrO₂-Y₂O₃/Si Interface / p63 (0039.jp2)
  28. 5.6 Strain Measurements in YSZ Films / p67 (0041.jp2)
  29. 5.7 Summary / p71 (0043.jp2)
  30. REFERENCES / p74 (0045.jp2)
  31. 6 Strain Measurements of Lattice at Thin Amorphous Layer/Crystal Interface by Ion Beam Channeling / p75 (0045.jp2)
  32. 6.1 Introduction / p75 (0045.jp2)
  33. 6.2 Experimental Procedures / p76 (0046.jp2)
  34. 6.3 Strain of Si at SiO₂/Si Interface / p78 (0047.jp2)
  35. 6.4 Summary / p81 (0048.jp2)
  36. REFERENCES / p86 (0051.jp2)
  37. 7 Conclusion / p87 (0051.jp2)
  38. Appendix LIST OF PUBLICATIONS / p91 (0053.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000077134
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000077337
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000241448
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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