クリーンルームにおけるエアロゾル粒子沈着による表面汚染に関する研究

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著者

    • 謝, 国平 シャ, フオピン

書誌事項

タイトル

クリーンルームにおけるエアロゾル粒子沈着による表面汚染に関する研究

著者名

謝, 国平

著者別名

シャ, フオピン

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2301号

学位授与年月日

1991-03-26

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第1章 序論 / p1 (0006.jp2)
  4. 1-1 研究の目的 / p2 (0007.jp2)
  5. 1-2 研究の背景 / p3 (0008.jp2)
  6. 1-3 本論文の構成 / p9 (0014.jp2)
  7. 第2章 クリーンルーム内のエアロゾル粒子の沈着理論 / p14 (0019.jp2)
  8. 2-1 粒子沈着に関する要因 / p15 (0020.jp2)
  9. 2-2 既往の研究に関する検討 / p32 (0037.jp2)
  10. 2-3 本研究における粒子沈着モデルの基本的考え方 / p36 (0041.jp2)
  11. 第3章 整流型クリーンルームにおける物体表面近傍の気流性状 / p39 (0044.jp2)
  12. 3-1 低風速計測の問題点 / p40 (0045.jp2)
  13. 3-2 画像処理による気流速度の測定 / p45 (0050.jp2)
  14. 3-3 表面近傍の気流変動の測定 / p57 (0062.jp2)
  15. 3-4 気流のスペクトル解析 / p73 (0078.jp2)
  16. 3-5 表面近傍の気流速度プロフィール / p92 (0097.jp2)
  17. 3-6 表面近傍の気流速度変動 / p94 (0099.jp2)
  18. 第4章 整流型クリーンルームにおける粒子沈着のモデル化 / p106 (0111.jp2)
  19. 4-1 乱流とせん断応力 / p107 (0112.jp2)
  20. 4-2 Prandtlの混合理論 / p113 (0118.jp2)
  21. 4-3 境界層内の速度分布 / p115 (0120.jp2)
  22. 4-4 粒子の乱流拡散における表面近傍の区分 / p119 (0124.jp2)
  23. 4-5 粒子沈着モデルの構築 / p127 (0132.jp2)
  24. 第5章 粒子沈着モデルに関する検討 / p140 (0145.jp2)
  25. 5-1 本研究のモデルと層流沈着モデルとの比較 / p141 (0146.jp2)
  26. 5-2 静電気力を考慮した粒子沈着速度 / p145 (0150.jp2)
  27. 5-3 垂直平板表面における粒子沈着速度の変化 / p152 (0157.jp2)
  28. 5-4 モデルの実験的検証 / p160 (0165.jp2)
  29. 第6章 結論 / p180 (0185.jp2)
  30. 6-1 本研究のまとめ / p181 (0186.jp2)
  31. 6-2 今後の課題 / p187 (0192.jp2)
  32. 共通記号 / (0194.jp2)
  33. 謝辞 / (0196.jp2)
  34. 研究報文一覧 / (0198.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000077976
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000078180
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000242290
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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