デュアル・イオンビーム式スパッタリングによる鉄基多層膜の作製に関する研究

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著者

    • 永久保, 雅夫 ナガクボ, マサオ

書誌事項

タイトル

デュアル・イオンビーム式スパッタリングによる鉄基多層膜の作製に関する研究

著者名

永久保, 雅夫

著者別名

ナガクボ, マサオ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第2074号

学位授与年月日

1990-06-30

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 第1章、 緒論 / p1 (0009.jp2)
  3. 第2章、 デュアル・イオンビームスパッタ法 / p4 (0012.jp2)
  4. 2-1 はじめに / p4 (0012.jp2)
  5. 2-2 イオン源 / p4 (0012.jp2)
  6. 2-3 イオンビームスパッタ法 / p16 (0024.jp2)
  7. 2-4 イオン照射効果 / p24 (0032.jp2)
  8. 2-5 デュアル・イオンビームスパッタ法 / p27 (0035.jp2)
  9. 2-6 まとめ / p33 (0041.jp2)
  10. 第3章、 超高純度鉄のイオンビームスパッタ / p34 (0042.jp2)
  11. 3-1 はじめに / p34 (0042.jp2)
  12. 3-2 高密度記録用磁気ヘッド / p37 (0045.jp2)
  13. 3-3 超高純度鉄膜の作製と評価 / p39 (0047.jp2)
  14. 3-4 モフォロジーと内部応力 / p46 (0054.jp2)
  15. 3-5 結晶学的構造 / p61 (0069.jp2)
  16. 3-6 電気的・磁気的性質 / p76 (0084.jp2)
  17. 3-7 まとめ / p96 (0104.jp2)
  18. 第4章、 窒素打ち込み、窒化鉄薄膜 / p97 (0105.jp2)
  19. 4-1 はじめに / p97 (0105.jp2)
  20. 4-2 副イオン源による窒素打ち込み / p100 (0108.jp2)
  21. 4-3 結晶学的構造 / p101 (0109.jp2)
  22. 4-4 電気的・磁気的性質 / p121 (0129.jp2)
  23. 4-5 まとめ / p135 (0143.jp2)
  24. 第5章、 鉄/窒化鉄多層膜 / p136 (0144.jp2)
  25. 5-1 はじめに / p136 (0144.jp2)
  26. 5-2 鉄と窒化鉄からなる多層膜の作製 / p138 (0146.jp2)
  27. 5-3 鉄/窒化鉄多層膜の構造 / p141 (0149.jp2)
  28. 5-4 電気的・磁気的性質 / p148 (0156.jp2)
  29. 5-5 まとめ / p158 (0166.jp2)
  30. 第6章、 鉄/アルミニウム、鉄/シリコン多層膜 / p159 (0167.jp2)
  31. 6-1 はじめに / p159 (0167.jp2)
  32. 6-2 鉄とアルミニウム、シリコンからなる多層膜の作製 / p162 (0170.jp2)
  33. 6-3 鉄/アルミニウム多層膜の構造と磁気的性質 / p165 (0173.jp2)
  34. 6-4 鉄/シリコン多層膜の構造と磁性 / p185 (0193.jp2)
  35. 6-5 まとめ / p196 (0204.jp2)
  36. 第7章、 鉄/アルミニウム/シリコン多層膜 / p198 (0206.jp2)
  37. 7-1 はじめに / p198 (0206.jp2)
  38. 7-2 鉄、アルミニウム、シリコンからなる多層膜の作製 / p201 (0209.jp2)
  39. 7-3 鉄/アルミニウム/シリコン多層膜の構造 / p202 (0210.jp2)
  40. 7-4 鉄/アルミニウム/シリコン多層膜の磁気的性質 / p214 (0222.jp2)
  41. 7-5 まとめ / p222 (0230.jp2)
  42. 第8章、 結論 / p223 (0231.jp2)
  43. 謝辞 / p226 (0234.jp2)
  44. 参考文献 / p228 (0236.jp2)
  45. 本研究に関する発表論文 / p237 (0245.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000078061
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000078265
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000242375
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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