電子回路のパターン欠陥高精度認識の研究
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Author
Bibliographic Information
- Title
-
電子回路のパターン欠陥高精度認識の研究
- Author
-
中川, 泰夫
- Author(Another name)
-
ナカガワ, ヤスオ
- University
-
東京工業大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
乙第2086号
- Degree year
-
1990-07-31
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 目次 / p1 (0004.jp2)
- 第1章 緒論 / p1 (0006.jp2)
- 1.1 緒言 / p1 (0006.jp2)
- 1.2 従来の研究 / p7 (0009.jp2)
- 1.3 本研究の目的 / p26 (0019.jp2)
- 1.4 本研究の特徴 / p27 (0019.jp2)
- 1.5 本研究の構成 / p31 (0021.jp2)
- 第2章 局所摂動パターンマッチング法による一層パターンの高精度欠陥認識 / p33 (0022.jp2)
- 2.1 緒言 / p33 (0022.jp2)
- 2.2 欠陥認識アルゴリズム:局所摂動パターンマッチング法 / p39 (0025.jp2)
- 2.3 レジストパターン検査装置の構成 / p49 (0030.jp2)
- 2.4 評価結果 / p61 (0036.jp2)
- 2.5 結言 / p66 (0039.jp2)
- 第3章 カスケードパターンマッチング法によるLSI多層パターンの高精度欠陥認識 / p68 (0040.jp2)
- 3.1 緒言 / p68 (0040.jp2)
- 3.2 LSI 多層パターン欠陥認識の技術課題 / p71 (0041.jp2)
- 3.3 カスケードパターンマッチング法 / p74 (0043.jp2)
- 3.4 評価結果 / p87 (0049.jp2)
- 3.5 結言 / p102 (0057.jp2)
- 第4章 2値局所摂動パターンマッチング法によるプリント板マスクパターンの欠陥認識 / p104 (0058.jp2)
- 4.1 緒言 / p104 (0058.jp2)
- 4.2 設計パターン発生法 / p109 (0060.jp2)
- 4.3 欠陥認識アルゴリズム:2値局所摂動パターンマッチング法 / p118 (0065.jp2)
- 4.4 プリント板マスクパターン検査装置の構成 / p125 (0068.jp2)
- 4.5 評価結果 / p136 (0074.jp2)
- 4.6 結言 / p139 (0075.jp2)
- 第5章 設計パターン比較方式･局所摂動パターンマッチング法によるX線マスクパターンの高精度欠陥認識 / p140 (0076.jp2)
- 5.1 緒言 / p140 (0076.jp2)
- 5.2 STEMによるX線マスクパターンの検出 / p143 (0077.jp2)
- 5.3 設計濃淡画像の発生と局所摂動パターンマッチング法による欠陥認識 / p150 (0081.jp2)
- 5.4 評価結果 / p155 (0083.jp2)
- 5.5 結言 / p159 (0085.jp2)
- 第6章 接続情報比較によるグリーンシート配線パターンの致命欠陥認識 / p160 (0086.jp2)
- 6.1 緒言 / p160 (0086.jp2)
- 6.2 配線パターンの致命欠陥 / p164 (0088.jp2)
- 6.3 輝点ノイズ除去パターン検出 / p165 (0088.jp2)
- 6.4 接続情報比較による致命欠陥認識アルゴリズム / p173 (0092.jp2)
- 6.5 グリーンシート配線パターン検査装置の構成 / p190 (0101.jp2)
- 6.6 評価結果 / p196 (0104.jp2)
- 6.7 結言 / p199 (0105.jp2)
- 第7章 結論 / p201 (0106.jp2)
- 参考文献 / p208 (0110.jp2)
- 謝辞 / p215 (0113.jp2)
- 付録:平面カラーディスプレイ用TFT多層パターン検査への局所摂動パターンマッチング法の適用 / p216 (0114.jp2)