機能性有機薄膜材料の合成と電子デバイスの応用

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著者

    • 鈴木, 成嘉 スズキ, マサヨシ

書誌事項

タイトル

機能性有機薄膜材料の合成と電子デバイスの応用

著者名

鈴木, 成嘉

著者別名

スズキ, マサヨシ

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第2116号

学位授与年月日

1990-10-31

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 論文目録 / (0002.jp2)
  2. 目次 / (0004.jp2)
  3. 第1章 緒言 / p1 (0006.jp2)
  4. (1)はじめに / p1 (0006.jp2)
  5. (2)レジスト / p7 (0009.jp2)
  6. (3)Langmuir-Blodgett膜 / p13 (0012.jp2)
  7. 参考文献 / p18 (0015.jp2)
  8. 第2章 架橋型ポジレジストの感度を決める要因 / p22 (0017.jp2)
  9. (1)はじめに / p22 (0017.jp2)
  10. (2)実験 / p25 (0018.jp2)
  11. (3)結果および考察 / p32 (0022.jp2)
  12. (4)結論 / p36 (0024.jp2)
  13. 参考文献 / p37 (0024.jp2)
  14. 第3章 メタクリロニトリルとメタクリル酸の共重合体の架橋型ポジレジストヘの応用 / p38 (0025.jp2)
  15. (1)はじめに / p38 (0025.jp2)
  16. (2)実験 / p43 (0027.jp2)
  17. (3)結果および考察 / p50 (0031.jp2)
  18. (4)結論 / p64 (0038.jp2)
  19. 参考文献 / p64 (0038.jp2)
  20. 第4章 トリメチルシリルスチレン(SiSt)とクロロメチルスチレン(CMS)共重合体の合成と二層構造用レジストヘの応用 / p65 (0038.jp2)
  21. (1)はじめに / p65 (0038.jp2)
  22. (2)実験 / p67 (0039.jp2)
  23. (3)結果および考察 / p71 (0041.jp2)
  24. (4)結論 / p101 (0056.jp2)
  25. 参考文献 / p102 (0057.jp2)
  26. 第5章 両端に官能基を有する単分子膜の超薄膜潤滑剤への応用 / p104 (0058.jp2)
  27. (1)はじめに / p104 (0058.jp2)
  28. (2)実験 / p106 (0059.jp2)
  29. (3)結果および考察 / p114 (0063.jp2)
  30. (4)結論 / p124 (0068.jp2)
  31. 参考文献 / p125 (0068.jp2)
  32. 第6章 耐熱性高分子LB膜のInPのMIS型電界効果トランジスター絶縁膜への応用 / p126 (0069.jp2)
  33. (1)はじめに / p126 (0069.jp2)
  34. (2)実験 / p127 (0069.jp2)
  35. (3)結果および考察 / p131 (0071.jp2)
  36. (4)結論 / p140 (0076.jp2)
  37. 参考文献 / p140 (0076.jp2)
  38. 第7章 感光基を有するポリイミドLB膜材料の合成と微細薄膜パターンの形成 / p142 (0077.jp2)
  39. (1)はじめに / p142 (0077.jp2)
  40. (2)実験 / p142 (0077.jp2)
  41. (3)結果および考察 / p148 (0080.jp2)
  42. (4)結論 / p171 (0091.jp2)
  43. 参考文献 / p171 (0091.jp2)
  44. 第8章 結論 / p172 (0092.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000078103
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000078307
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000242417
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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