Co-Cr垂直磁化膜の微細構造と磁気特性に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
-
Co-Cr垂直磁化膜の微細構造と磁気特性に関する研究
- 著者名
-
砂井, 正之
- 著者別名
-
サゴイ, マサユキ
- 学位授与大学
-
東京工業大学
- 取得学位
-
工学博士
- 学位授与番号
-
乙第2131号
- 学位授与年月日
-
1990-11-30
注記・抄録
博士論文
目次
- 論文目録 / (0002.jp2)
- 目次 / (0005.jp2)
- 第一章 緒論 / p1 (0010.jp2)
- 第一章参考文献 / p6 (0015.jp2)
- 第二章 Co-Cr膜の作製 / p8 (0017.jp2)
- §2-1 緒言 / p8 (0017.jp2)
- §2-2 スパッタ装置の概要 / p8 (0017.jp2)
- §2-3 タ-ゲット / p8 (0017.jp2)
- §2-4 成膜プロセス / p9 (0018.jp2)
- §2-5 成膜パラメータ / p11 (0020.jp2)
- §2-6 膜の諸特性の評価 / p13 (0022.jp2)
- §2-7 膜の組成分析 / p15 (0024.jp2)
- 第二章参考文献 / p16 (0025.jp2)
- 第三章 Co-Cr膜の断面構造 / p17 (0026.jp2)
- §3-1 緒言 / p17 (0026.jp2)
- §3-2 スパッタリングの基本的パラメータ / p17 (0026.jp2)
- §3-3 成膜条件と膜のC r組成 / p18 (0027.jp2)
- §3-4 膜の断面構造 / p21 (0030.jp2)
- §3-5 機械的性質 / p27 (0036.jp2)
- §3-6 作製条件と磁気特性 / p31 (0040.jp2)
- §3-7 まとめ / p38 (0047.jp2)
- §3-8 結言 / p40 (0049.jp2)
- 第3章参考文献 / p42 (0051.jp2)
- 第四章 CO-Cr膜中のCr濃度の微視的ゆらぎと磁気特性 / p43 (0052.jp2)
- §4-1 緒言 / p43 (0052.jp2)
- §4-2 飽和磁化の測定 / p43 (0052.jp2)
- §4-3 Co-Cr膜のCr濃度と飽和磁化 / p44 (0053.jp2)
- §4-4 微視的Cr濃度のゆらぎのマイクロ･オージェ分析による直接観察 / p48 (0057.jp2)
- §4-5 Cr濃度の微視的ゆらぎと減磁界 / p51 (0060.jp2)
- §4-6 まとめ / p59 (0068.jp2)
- §4-7 結言 / p59 (0068.jp2)
- 第四章参考文献 / p61 (0070.jp2)
- 第五章 Cr濃度の微視的ゆらぎの起源 / p62 (0071.jp2)
- §5-1 緒言 / p62 (0071.jp2)
- §5-2 C r濃度の臨界値 / p62 (0071.jp2)
- §5-3 Co-Cr膜の飽和磁化の再検討 / p65 (0074.jp2)
- §5-4 Co-Cr膜の不均一性と状態図 / p67 (0076.jp2)
- §5-5 まとめ / p74 (0083.jp2)
- §5-6 結言 / p76 (0085.jp2)
- 第五章参考文献 / p78 (0087.jp2)
- 第六章 第三元素の添加効果(1) / p79 (0088.jp2)
- -ガス元素の添加効果- / p79 (0088.jp2)
- §6-1 緒言 / p79 (0088.jp2)
- §6-2 実験 / p79 (0088.jp2)
- §6-3 酸素及び窒素導入のc軸配向に及ぼす影響 / p79 (0088.jp2)
- §6-4 酸素導入の結晶粒径に及ぼす影響 / p83 (0092.jp2)
- §6-5 酸素導入の磁気特性に及ぼす影響 / p86 (0095.jp2)
- §6-6 まとめ / p87 (0096.jp2)
- §6-7 結言 / p90 (0099.jp2)
- 第六章参考文献 / p91 (0100.jp2)
- 第七章 第三元素の添加効果(2) / p92 (0101.jp2)
- ‐遷移金属元素の添加効果‐ / p92 (0101.jp2)
- §7-1 緒言 / p92 (0101.jp2)
- §7-2 Co系三元合金膜の作製とその結晶構造 / p92 (0101.jp2)
- §7-3 三元系垂直磁化膜の磁気特性 / p93 (0102.jp2)
- §7-4 第三元素添加の表面粒径に及ぼす影響 / p103 (0112.jp2)
- §7-5 Co-Cr-Ta垂直磁化膜の磁気特性 / p103 (0112.jp2)
- §7-6 Co-Cr-Ta膜の電磁変換特性 / p105 (0114.jp2)
- §7-7 まとめ / p109 (0118.jp2)
- §7-8 結言 / p111 (0120.jp2)
- 第七章参考文献 / p112 (0121.jp2)
- 第八章 結論 / p113 (0122.jp2)
- 謝辞 / p118 (0127.jp2)
- 発表論文リスト / p119 (0128.jp2)
- 1､筆頭論文 / p119 (0128.jp2)
- 2､口頭発表 / p120 (0129.jp2)
- 3､その他公表文献 / p121 (0130.jp2)