低速電子線照射による絶縁物からの二次電子放出に関する研究

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著者

    • 児玉, 哲司 コダマ, テツジ

書誌事項

タイトル

低速電子線照射による絶縁物からの二次電子放出に関する研究

著者名

児玉, 哲司

著者別名

コダマ, テツジ

学位授与大学

名古屋大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第2457号

学位授与年月日

1991-03-25

注記・抄録

博士論文

名古屋大学博士学位論文 学位の種類:工学博士 (課程) 学位授与年月日:平成3年3月25日

目次

  1. 目次 / (0004.jp2)
  2. 1 序論 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 本研究の背景 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 本研究の目的 / p7 (0012.jp2)
  5. 1.3 本論文の構成 / p8 (0013.jp2)
  6. 2 絶縁物表面の帯電 / p13 (0018.jp2)
  7. 2.1 緒言 / p13 (0018.jp2)
  8. 2.2 絶縁物表面の観察 / p13 (0018.jp2)
  9. 2.3 絶縁物表面の形状が観察される条件 / p15 (0020.jp2)
  10. 2.4 電子線照射による影響 / p15 (0020.jp2)
  11. 2.5 二次電子放出率との関連 / p19 (0024.jp2)
  12. 2.6 二次電子放出率 / p25 (0030.jp2)
  13. 2.7 検討 / p28 (0033.jp2)
  14. 2.8 結言 / p33 (0038.jp2)
  15. 3 SEMによる絶縁物表面電位の測定法 / p38 (0043.jp2)
  16. 3.1 緒言 / p38 (0043.jp2)
  17. 3.2 電位コントラスト / p38 (0043.jp2)
  18. 3.3 容量結合モデル / p39 (0044.jp2)
  19. 3.4 容量結合モデルの問題点 / p43 (0048.jp2)
  20. 3.5 絶縁物表面の電位測定 / p45 (0050.jp2)
  21. 3.6 結言 / p48 (0053.jp2)
  22. 4 絶縁物表面電位の測定結果と物理モデルの検討 / p59 (0064.jp2)
  23. 4.1 緒言 / p59 (0064.jp2)
  24. 4.2 測定結果 / p59 (0064.jp2)
  25. 4.3 物理モデルの検討 / p65 (0070.jp2)
  26. 4.4 結言 / p67 (0072.jp2)
  27. 5 結論 / p71 (0076.jp2)
  28. 5.1 本研究の成果 / p71 (0076.jp2)
  29. 5.2 今後の課題 / p73 (0078.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000079059
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000079263
  • DOI(NDL)
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000000243373
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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