非共鳴多光子イオン化技術を用いた表面分析の基礎研究

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著者

    • 河藤, 栄三 カワトウ, エイゾウ

書誌事項

タイトル

非共鳴多光子イオン化技術を用いた表面分析の基礎研究

著者名

河藤, 栄三

著者別名

カワトウ, エイゾウ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第5531号

学位授与年月日

1991-10-28

注記・抄録

博士論文

09930

博士(工学)

1991-10-28

大阪大学

14401乙第05531号

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 緒言 / p1 (0005.jp2)
  3. 第1章 スパッタリングと中性粒子の検出 / p4 (0007.jp2)
  4. §1.1 スパッタリングとは / p4 (0007.jp2)
  5. §1.2 スパッタリングの理論 / p5 (0007.jp2)
  6. §1.3 二次イオンの生成とイオン化確率 / p10 (0010.jp2)
  7. §1.4 二次イオン分析とスパッタ中性粒子分析 / p13 (0011.jp2)
  8. 参考文献 / p18 (0014.jp2)
  9. 第2章 スパッタリングのコンピュータ・シミュレーション / p19 (0014.jp2)
  10. §2.1 シミュレーション・モデルと計算法 / p19 (0014.jp2)
  11. 2.1.1はじめに / p19 (0014.jp2)
  12. 2.1.2二体衝突モデルによるモンテカルロ・シミュレーション / p21 (0015.jp2)
  13. 2.1.3原子間ポテンシャル / p23 (0016.jp2)
  14. 2.1.4散乱の断面積とその近似式 / p27 (0018.jp2)
  15. 2.1.5散乱角とステップ長の計算 / p30 (0020.jp2)
  16. 2.1.6電子阻止能 / p32 (0021.jp2)
  17. 2.1.7多成分試料への拡張 / p34 (0022.jp2)
  18. §2.2 Cu-Al合金試料の角度分布のシミュレーション / p34 (0022.jp2)
  19. §2.3 まとめ / p38 (0024.jp2)
  20. 参考文献 / p39 (0024.jp2)
  21. 第3章 多光子イオン化によるスパッタ粒子分析の原理 / p40 (0025.jp2)
  22. §3.1 多光子イオン化とは / p40 (0025.jp2)
  23. 3.1.1共鳴多光子イオン化と非共鳴多光子イオン化 / p40 (0025.jp2)
  24. 3.1.2最低次数摂動論による多光子イオン化の理論 / p43 (0026.jp2)
  25. 3.1.3光子統計の遷移確率に与える影響 / p46 (0028.jp2)
  26. 3.1.4レーザー光線の空間・時間的分布とイオン化の飽和の関係 / p48 (0029.jp2)
  27. §3.2 スパッタ中性粒子の速度分布を考慮にいれた飛行時間分析器の特性評価 / p53 (0031.jp2)
  28. 3.2.1イオン化領域でのスパッタ中性粒子の密度 / p53 (0031.jp2)
  29. 3.2.2飛行時間と有効イオン化領域 / p54 (0032.jp2)
  30. 3.2.3有効な検出率と飛行時間スペクトル / p57 (0033.jp2)
  31. §3.3 まとめ / p60 (0035.jp2)
  32. 参考文献 / p61 (0035.jp2)
  33. 第4章 非共鳴多光子イオン化によるスパッタ中性粒子分析装置 / p62 (0036.jp2)
  34. §4.1 はじめに / p62 (0036.jp2)
  35. §4.2 多光子イオン化スパッタ中性粒子分析装置 / p63 (0036.jp2)
  36. §4.3 レーザー装置と光学系 / p67 (0038.jp2)
  37. §4.4 データ収集・処理系 / p69 (0039.jp2)
  38. §4.5 装置の特性に関わる種々の現象の評価 / p72 (0041.jp2)
  39. 4.5.1イオン化領域内の光電離イオンによる空間電荷の影響 / p72 (0041.jp2)
  40. 4.5.2MCP検出器の飽和によるカウントロス / p73 (0041.jp2)
  41. 4.5.3飛行時間分析器に用いるメッシュ電極の影響 / p74 (0042.jp2)
  42. §4.6 現在の装置の性能と今後の展望 / p75 (0042.jp2)
  43. 4.6.1検出効率 / p75 (0042.jp2)
  44. 4.6.2微量元素分析と分解能 / p77 (0043.jp2)
  45. 4.6.3深さ方向分析 / p78 (0044.jp2)
  46. 4.6.4質量分解能とカウントロス / p80 (0045.jp2)
  47. §4.7 まとめ / p81 (0045.jp2)
  48. 参考文献 / p82 (0046.jp2)
  49. 第5章 非共鳴多光子イオン化によるスパッタ粒子の分析結果 / p83 (0046.jp2)
  50. §5.1 TOFスペクトルの測定条件 / p83 (0046.jp2)
  51. 5.1.1試料の前処理とイオン照射条件 / p83 (0046.jp2)
  52. 5.1.2TOFスペクトルの測定方法とデータ処理法 / p84 (0047.jp2)
  53. 5.1.3レーザー光強度による信号強度の変化 / p85 (0047.jp2)
  54. 5.1.4残留ガスのTOFスペクトルへの影響 / p88 (0049.jp2)
  55. §5.2 Cu-Al合金のTOFスペクトルと定量性の評価 / p89 (0049.jp2)
  56. 5.2.1CU、AI信号強度の評価 / p89 (0049.jp2)
  57. 5.2.2Cu-A1合金の組成比の決定 / p94 (0052.jp2)
  58. §5.3 Cu-Ni合金におけるイオン照射による表面結合力の変化 / p94 (0052.jp2)
  59. 5.3.1CU-Ni合金の標準的TOFスペクトル / p94 (0052.jp2)
  60. 5.3.2CU-Ni合金の速度分布とその時間変化 / p97 (0053.jp2)
  61. §5.4 まとめ / p103 (0056.jp2)
  62. 参考文献 / p104 (0057.jp2)
  63. 総括 / p105 (0057.jp2)
  64. 謝辞 / p107 (0058.jp2)
  65. 発表論文リスト / p108 (0059.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000081135
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000081343
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000245449
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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