セラミックスの熱プラズマ超高速CVD

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著者

    • 村上, 秀之 ムラカミ, ヒデユキ

書誌事項

タイトル

セラミックスの熱プラズマ超高速CVD

著者名

村上, 秀之

著者別名

ムラカミ, ヒデユキ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第9035号

学位授与年月日

1991-03-29

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 緒言 / p1 (0007.jp2)
  3. 1-1 背景 / p1 (0007.jp2)
  4. 1-2 熱プラズマとは / p2 (0008.jp2)
  5. 1-3 熱プラズマの応用例 / p6 (0012.jp2)
  6. 1-4 ハイブリッドプラズマトーチ開発 / p10 (0016.jp2)
  7. 1-5 本研究の目的 / p11 (0017.jp2)
  8. 第1章の参考文献 / p14 (0020.jp2)
  9. 第2章 プラズマの流体解析 / p16 (0022.jp2)
  10. 2-1 はじめに / p16 (0022.jp2)
  11. 2-2 計算モデル / p19 (0025.jp2)
  12. 2-3 理論及び境界条件 / p20 (0026.jp2)
  13. 2-4 計算方法 / p28 (0034.jp2)
  14. 2-5 結果及び考察 / p31 (0037.jp2)
  15. 2-6 第2章のまとめ / p45 (0051.jp2)
  16. 第2章の参考文献 / p46 (0052.jp2)
  17. 第3章 超高速熱プラズマCVD法開発 / p49 (0055.jp2)
  18. 3-1 概要 / p49 (0055.jp2)
  19. 3-2 装置及び手順 / p51 (0057.jp2)
  20. 3-3 プラズマ特性評価 / p59 (0065.jp2)
  21. 3-4 セラミックスの超高速堆積 / p75 (0081.jp2)
  22. 3-5 考察 / p103 (0109.jp2)
  23. 3-6 第3章のまとめ / p114 (0120.jp2)
  24. 第3章の参考文献 / p115 (0121.jp2)
  25. 第4章 総括 / p117 (0123.jp2)
  26. 謝辞 / (0125.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000081793
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000082001
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000246107
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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