金属多層膜の構造と物性に関する研究

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著者

    • 伊藤, 俊哉 イトウ, トシヤ

書誌事項

タイトル

金属多層膜の構造と物性に関する研究

著者名

伊藤, 俊哉

著者別名

イトウ, トシヤ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第9043号

学位授与年月日

1991-03-29

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  3. 1-1 研究の動機と目的 / p1 (0005.jp2)
  4. 1-2 本論文の概要 / p4 (0008.jp2)
  5. 第2章 スパッタ法による金属多層膜作製 / p5 (0009.jp2)
  6. 2-1 スパッタ法による薄膜作製の特徴 / p5 (0009.jp2)
  7. 2-2 金属多層膜の成長過程と微視的構造 / p24 (0028.jp2)
  8. 2-3 試料作製装置 / p36 (0040.jp2)
  9. 2-5 試料作製 / p44 (0048.jp2)
  10. 第3章 金属多層膜の構造 / p55 (0059.jp2)
  11. 3-1 X線回折パターンと計算機シミュレーション / p55 (0059.jp2)
  12. 3-2 積層界面近傍の原子構造 / p66 (0070.jp2)
  13. 3-3 実験および計算機シミュレーションの結果 / p69 (0073.jp2)
  14. 第4章 金属多層膜の力学的性質の評価 / p90 (0094.jp2)
  15. 4-1 金属薄膜の力学的性質 / p90 (0094.jp2)
  16. 4-2 金属多層膜の力学的性質 / p94 (0098.jp2)
  17. 4-3 ブリルアン散乱による表面弾性波速度の測定 / p100 (0104.jp2)
  18. 4-4 微小硬度測定 / p116 (0120.jp2)
  19. 4-5 実験結果 / p117 (0121.jp2)
  20. 第5章 考察 / p126 (0130.jp2)
  21. 5-1 状態図の相違と多層膜の微視的構造の相違 / p126 (0130.jp2)
  22. 5-2 微視的構造積層周期依存性 / p130 (0134.jp2)
  23. 5-3 微視的構造と弾性特性 / p132 (0136.jp2)
  24. 5-4 レイリー波速度の積層周期依存性 / p136 (0140.jp2)
  25. 5-5 異常力学物性 / p147 (0151.jp2)
  26. 第6章 結論 / p149 (0153.jp2)
  27. 参考文献 / p154 (0158.jp2)
  28. 謝辞 / p159 (0163.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000081801
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000082009
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000246115
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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