金属多層膜の構造と物性に関する研究
Access this Article
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
金属多層膜の構造と物性に関する研究
- Author
-
伊藤, 俊哉
- Author(Another name)
-
イトウ, トシヤ
- University
-
東京大学
- Types of degree
-
工学博士
- Grant ID
-
甲第9043号
- Degree year
-
1991-03-29
Note and Description
博士論文
Table of Contents
- 目次 / (0003.jp2)
- 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
- 1-1 研究の動機と目的 / p1 (0005.jp2)
- 1-2 本論文の概要 / p4 (0008.jp2)
- 第2章 スパッタ法による金属多層膜作製 / p5 (0009.jp2)
- 2-1 スパッタ法による薄膜作製の特徴 / p5 (0009.jp2)
- 2-2 金属多層膜の成長過程と微視的構造 / p24 (0028.jp2)
- 2-3 試料作製装置 / p36 (0040.jp2)
- 2-5 試料作製 / p44 (0048.jp2)
- 第3章 金属多層膜の構造 / p55 (0059.jp2)
- 3-1 X線回折パターンと計算機シミュレーション / p55 (0059.jp2)
- 3-2 積層界面近傍の原子構造 / p66 (0070.jp2)
- 3-3 実験および計算機シミュレーションの結果 / p69 (0073.jp2)
- 第4章 金属多層膜の力学的性質の評価 / p90 (0094.jp2)
- 4-1 金属薄膜の力学的性質 / p90 (0094.jp2)
- 4-2 金属多層膜の力学的性質 / p94 (0098.jp2)
- 4-3 ブリルアン散乱による表面弾性波速度の測定 / p100 (0104.jp2)
- 4-4 微小硬度測定 / p116 (0120.jp2)
- 4-5 実験結果 / p117 (0121.jp2)
- 第5章 考察 / p126 (0130.jp2)
- 5-1 状態図の相違と多層膜の微視的構造の相違 / p126 (0130.jp2)
- 5-2 微視的構造積層周期依存性 / p130 (0134.jp2)
- 5-3 微視的構造と弾性特性 / p132 (0136.jp2)
- 5-4 レイリー波速度の積層周期依存性 / p136 (0140.jp2)
- 5-5 異常力学物性 / p147 (0151.jp2)
- 第6章 結論 / p149 (0153.jp2)
- 参考文献 / p154 (0158.jp2)
- 謝辞 / p159 (0163.jp2)