サブミクロン二次イオン質量分析法に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 佐藤, 仁美 サトウ, ヒトミ

書誌事項

タイトル

サブミクロン二次イオン質量分析法に関する研究

著者名

佐藤, 仁美

著者別名

サトウ, ヒトミ

学位授与大学

東京大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第9065号

学位授与年月日

1991-03-29

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 本研究の目的と意義 / p1 (0006.jp2)
  3. 1.1 本研究の目的 / p1 (0006.jp2)
  4. 1.2 本研究の意義 / p1 (0006.jp2)
  5. 第2章 本研究の背景 / p3 (0008.jp2)
  6. 2.1 二次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Spectrometry: SIMS) / p3 (0008.jp2)
  7. 2.2 サブミクロンSIMS / p3 (0008.jp2)
  8. 第3章 サブミクロン二次イオン質量分析装置 / p14 (0019.jp2)
  9. 3.1 装置の概要 / p14 (0019.jp2)
  10. 3.2 マルチチャンネル並列検出系 / p23 (0028.jp2)
  11. 3.3 サブミクロンSIMSの評価 / p29 (0034.jp2)
  12. 第4章 サブミクロンSIMSを用いた微粒子分析 / p48 (0053.jp2)
  13. 4.1 二次イオン強度の一次ビーム入射角依存性 / p48 (0053.jp2)
  14. 4.2 微粒子分析の際の一次ビーム走査方法の検討 / p48 (0053.jp2)
  15. 第5章 Ga⁺一次ビームに対する元素間相対感度(Relative Sensitivity Factor: RSF)の評価 / p63 (0068.jp2)
  16. 5.1 SIMSを用いた定量分析に関する現状 / p63 (0068.jp2)
  17. 5.2 元素間相対感度値の定義 / p65 (0070.jp2)
  18. 5.3 実験 / p67 (0072.jp2)
  19. 5.4 実験の結果 / p69 (0074.jp2)
  20. 第6章 サブミクロンSIMSを用いた3次元分析 / p83 (0088.jp2)
  21. 6.1 SIMSによる深さ方向分析の現状 / p83 (0088.jp2)
  22. 6.2 実験 / p85 (0090.jp2)
  23. 第7章 まとめおよび今後の展望 / p94 (0099.jp2)
  24. 7.1 結論 / p94 (0099.jp2)
  25. 7.2 今後の展望 / p95 (0100.jp2)
  26. 謝辞 / p98 (0103.jp2)
  27. 本論文を構成する論文の一覧 / p99 (0104.jp2)
2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000081823
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000082031
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000246137
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ