超音波振動導入によるInGaSb混晶成長の研究

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著者

    • 鶴田, 卓也 ツルタ, タクヤ

書誌事項

タイトル

超音波振動導入によるInGaSb混晶成長の研究

著者名

鶴田, 卓也

著者別名

ツルタ, タクヤ

学位授与大学

静岡大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

甲第67号

学位授与年月日

1992-03-25

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0004.jp2)
  2. 概要 / (0003.jp2)
  3. 目次 / (0004.jp2)
  4. 第1章 序論 / p1 (0005.jp2)
  5. 1-1節 研究の背景と目的 / p1 (0005.jp2)
  6. 1-2節 論文の構成と概要 / p5 (0007.jp2)
  7. 参考文献 / p6 (0008.jp2)
  8. 第2章 従来のチョクラルスキー法によるGaSb結晶の成長 / p9 (0009.jp2)
  9. 2-1節 緒言 / p9 (0009.jp2)
  10. 2-2節 従来のチョクラルスキー装置 / p10 (0010.jp2)
  11. 2-3節 原料用GaSb合金の合成 / p12 (0011.jp2)
  12. 2-4節 種結晶の準備 / p13 (0011.jp2)
  13. 2-4-1 成長結晶からの種結晶の作成 / p13 (0011.jp2)
  14. 2-4-2 結晶引上げにおける種結晶の前処理 / p18 (0014.jp2)
  15. 2-5節 GaSb成長実験方法 / p18 (0014.jp2)
  16. 2-6節 成長結晶評価 / p20 (0015.jp2)
  17. 2-7節 まとめ / p29 (0019.jp2)
  18. 参考文献 / p30 (0020.jp2)
  19. 第3章 超音波振動導入チョクラルスキー法による[化学式]Sb混晶の成長 / p33 (0021.jp2)
  20. 3-l節 緒言 / p33 (0021.jp2)
  21. 3-2節 超音波振動導入チョクラルスキー装置 / p35 (0022.jp2)
  22. 3-3節 原料用合金の合成 / p37 (0023.jp2)
  23. 3-4節 [化学式]Sb成長実験方法 / p38 (0024.jp2)
  24. 3-5節 [化学式]Sb成長結晶評価 / p44 (0027.jp2)
  25. 3-5-1 研摩によるモホロジーの観察 / p44 (0027.jp2)
  26. 3-5-2 化学エッチ処理によるモホロジーの観察 / p58 (0034.jp2)
  27. 3-5-3 EPMAによる混晶比の決定 / p61 (0035.jp2)
  28. 3-5-4 拡がり抵抗値の測定 / p67 (0038.jp2)
  29. 3-5-5 示差熱分析 / p72 (0041.jp2)
  30. 3-5-6 X線回折による格子定数の決定 / p74 (0042.jp2)
  31. 3-5-7 透過率測定 / p77 (0043.jp2)
  32. 3-6節 [化学式]Sb成長結晶中のボイド状態 / p79 (0044.jp2)
  33. 3-6-1 ボイド形状の観察法 / p80 (0045.jp2)
  34. 3-6-2 ボイド混入原因とボイド形状 / p81 (0045.jp2)
  35. 3-6-3 バブルの挙動 / p89 (0049.jp2)
  36. 3-6-4 成長結晶の結晶性との関係 / p92 (0051.jp2)
  37. 3-6-5 引上げ条件とボイド状態 / p94 (0052.jp2)
  38. 3-7節 まとめ / p98 (0054.jp2)
  39. 参考文献 / p100 (0055.jp2)
  40. 第4章 融液温度への超音波振動導入効果 / p103 (0056.jp2)
  41. 4-I節 緒言 / p103 (0056.jp2)
  42. 4-2節 融液温度測定装置 / p104 (0057.jp2)
  43. 4-3節 測定誤差の補正 / p108 (0059.jp2)
  44. 4-4節 融液温度測定方法 / p112 (0061.jp2)
  45. 4-5節 測定条件 / p117 (0063.jp2)
  46. 4-6節 融液温度測定結果と考察 / p120 (0065.jp2)
  47. 4-6-1 温度変動の周波数解析 / p120 (0065.jp2)
  48. 4-6-2 温度変動の平均温度 / p125 (0067.jp2)
  49. 4-6-3 測定位置間の温度差 / p135 (0072.jp2)
  50. 4-7節 まとめ / p138 (0074.jp2)
  51. 参考文献 / p139 (0074.jp2)
  52. 第5章 総括 / p141 (0075.jp2)
  53. 謝辞 / (0076.jp2)
  54. 付録A GaSb、InSb物性表 / (0077.jp2)
  55. B 石英管寸法図 / (0077.jp2)
  56. C 温度測定用石英管押さえ寸法図 / (0078.jp2)
  57. D FFTデータ変換プログラム / (0079.jp2)
  58. 研究業績目録 / (0083.jp2)
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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000082249
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000082457
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000246563
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
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