マイクロリソグラフィ用低分子量レジスト材料(LMR)の研究

この論文をさがす

著者

    • 山下, 吉雄 ヤマシタ, ヨシオ

書誌事項

タイトル

マイクロリソグラフィ用低分子量レジスト材料(LMR)の研究

著者名

山下, 吉雄

著者別名

ヤマシタ, ヨシオ

学位授与大学

静岡大学

取得学位

工学博士

学位授与番号

乙第39号

学位授与年月日

1992-01-21

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0005.jp2)
  2. 概要 / (0003.jp2)
  3. 目次 / (0005.jp2)
  4. 第1章 序論 / p1 (0007.jp2)
  5. 参考文献 / p6 (0010.jp2)
  6. 第2章 遠紫外線用レジスト / p9 (0011.jp2)
  7. 2-1 緒言 / p9 (0011.jp2)
  8. 2-2 リフトオフ用レジスト(LMR) / p12 (0013.jp2)
  9. 2-3 シリコン含有レジスト(Si-LMR) / p32 (0023.jp2)
  10. 2-4 結語 / p36 (0025.jp2)
  11. 参考文献 / p38 (0026.jp2)
  12. 第3章 遠紫外線用レジストLMRのネガ化機構 / p40 (0027.jp2)
  13. 3-1 緒言 / p40 (0027.jp2)
  14. 3-2 紫外線及び遠紫外線照射による溶解特性の変化 / p42 (0028.jp2)
  15. 3-3 遠紫外線照射による分子量の変化 / p43 (0028.jp2)
  16. 3-4 クロスリンク反応 / p44 (0029.jp2)
  17. 3-5 ナフトキノンジアジドの遠紫外線での反応 / p48 (0031.jp2)
  18. 3-6 LMRの遠紫外線と紫外線での反応 / p54 (0034.jp2)
  19. 3-7 LMRの反応メカニズム / p55 (0034.jp2)
  20. 3-8 結語 / p57 (0035.jp2)
  21. 参考文献 / p57 (0035.jp2)
  22. 第4章 紫外線用レジスト / p60 (0037.jp2)
  23. 4-1 緒言 / p60 (0037.jp2)
  24. 4-2 LMR-UVの基本的特性 / p61 (0037.jp2)
  25. 4-3 実験方法 / p64 (0039.jp2)
  26. 4-4 パターニング特性 / p64 (0039.jp2)
  27. 4-5 エッチングプロセスでの評価 / p69 (0041.jp2)
  28. 4-6 リフトオフプロセスでの評価 / p70 (0042.jp2)
  29. 4-7 デバイスプロセスへの応用 / p72 (0043.jp2)
  30. 4-8 現像による形状シミュレーション / p73 (0043.jp2)
  31. 4-9 結語 / p75 (0044.jp2)
  32. 参考文献 / p77 (0045.jp2)
  33. 第5章 電子線レジスト / p79 (0046.jp2)
  34. 5-1 緒言 / p79 (0046.jp2)
  35. 5-2 LMRの電子線露光特性 / p81 (0047.jp2)
  36. 5-3 シリコン含有レジスト(SCMR) / p85 (0049.jp2)
  37. 5-4 結語 / p104 (0059.jp2)
  38. 参考文献 / p105 (0059.jp2)
  39. 第6章 レジストプロセスへのLMRの適用 / p108 (0061.jp2)
  40. 6-1 緒言 / p108 (0061.jp2)
  41. 6-2 CELプロセス / p111 (0062.jp2)
  42. 6-3 HR-PCMプロセス / p119 (0066.jp2)
  43. 6-4 結語 / p123 (0068.jp2)
  44. 参考文献 / p125 (0069.jp2)
  45. 第7章 結論 / p127 (0070.jp2)
  46. 謝辞 / p131 (0072.jp2)
  47. 略語表 / p132 (0073.jp2)
  48. 本研究に関する主要論文 / p133 (0073.jp2)
1アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000082257
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000082465
  • DOI(NDL)
  • NDL書誌ID
    • 000000246571
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
    • NDLデジタルコレクション
ページトップへ